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주사형터널링현미경에사용되는3차원주사기의감도제어방법

  • 기술번호 : KST2015180251
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기(scanner)의 감도제어방법에 관한 것으로 주사형 터널링 현미경용 3차원 주사기에 있어서 원통형 3차원 주사기의 z축을 위한 전극을 바깥쪽에 형성시켜 내부전극을 접지시키거나 z 전압을 가하게 하여 열팽창보상에 이용하고 또 z-전극의 길이를 변화시켜 각축의 감도를 조절하게 함을 특징으로 하는 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기의 감도제어방법.
Int. CL H01L 41/08 (2006.01)
CPC G01Q 10/06(2013.01) G01Q 10/06(2013.01) G01Q 10/06(2013.01) G01Q 10/06(2013.01)
출원번호/일자 1019940019469 (1994.08.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0135481-0000 (1998.01.14)
공개번호/일자 10-1996-0008363 (1996.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (19980422) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.08.08)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구자용 대한민국 대전직할시유성구
2 김달현 대한민국 대전직할시유성구
3 이세경 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김경식 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, *층 (서초동, 모인터빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination
1994.08.08 수리 (Accepted) 1-1-1994-0088460-90
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1994.08.08 수리 (Accepted) 1-1-1994-0088459-43
3 특허출원서
Patent Application
1994.08.08 수리 (Accepted) 1-1-1994-0088458-08
4 등록사정서
Decision to grant
1997.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0049801-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008522-00
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.25 수리 (Accepted) 4-1-1999-0038464-97
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0073381-61
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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주사형 터널링 현미경용 3차원 주사기에 있어서 원통형 주사기의 z축을 위한 전극을 바깥쪽에 형성시켜 내부전극을 접지 시키거나 z 전압을 가하게 하여 열팽창보상에 이용하고 또 z-전극의 길이를 변화시켜 각축의 감도를 조절하게 함을 특징으로 하는 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기의 감도제어방법

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패밀리정보가 없습니다
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