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탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법

기술번호 : KST2015180275
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법을 제공한다. 이 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브, 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부, 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 보조 챔버와 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스(conductance)를 조절하는 조리개(orifice), 보조 챔버에 연결되어 보조 챔버 내부를 배기하는 배기부, 보조 챔버내부의 압력을 측정하는 보조 진공계, 및 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함한다. 탈기체, 열탈착, 질량분석, 적외선 가열, 튜명 튜브
Int. CL	G01N 1/44 (2006.01) G01N 35/00 (2006.01)
CPC	G01N 1/44(2013.01) G01N 1/44(2013.01) G01N 1/44(2013.01)
출원번호/일자	1020090104757 (2009.11.02)
출원인	한국표준과학연구원
등록번호/일자	10-1063089-0000 (2011.08.31)
공개번호/일자	10-2011-0048092 (2011.05.11) 문서열기
공고번호/일자	(20110907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2009.11.02)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국표준과학연구원	대한민국	대전 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	임인태	대한민국	대전광역시 서구
2	성대진	대한민국	충청남도 공주시
3	편승철	대한민국	충청남도 홍성군
4	신용현	대한민국	대전시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	이평우	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 길 -(역삼동, IT빌딩 층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국표준과학연구원	대한민국	대전 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2009.11.02	수리 (Accepted)	1-1-2009-0670785-17
2	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2010.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2010-0457585-10
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2011.06.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2011.07.14	수리 (Accepted)	9-1-2011-0059048-77
5	등록결정서 Decision to grant	2011.08.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0481007-31
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.01.09	수리 (Accepted)	4-1-2014-5004381-25
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266645-00
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266627-88
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266640-72

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브; 상기 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부; 상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버; 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버; 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개; 상기 보조 챔버에 연결되어 상기 보조 챔버를 배기하는 배기부; 상기 보조 챔버의 압력을 측정하는 보조 진공계; 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브에 연결된 질량 분석기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 시료를 장착하는 시료 지지대; 및 상기 시료 또는 상기 시료 지지대의 온도를 측정하는 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 메인 챔버에 연결된 저진공 펌프; 상기 메인 챔버와 상기 저진공 펌프 사이에 배치된 진공 밸브; 상기 보조 챔버와 상기 배기부 사이에 배치된 게이트 밸브 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 튜명 튜브의 타단에 연결된 도어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치
6	6 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브 내부에 시료를 장착하는 단계; 상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 및 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개를 포함하는 챔버부를 배기하는 단계; 상기 투명 튜브를 감싸도록 배치된 적외선 가열부를 이용하여 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 상기 시료를 적외선을 방출하여 가열하는 단계; 및 상기 보조 챔버의 압력 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하여 상기 시료의 탈기체 특성을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 방법
7	7 제 6 항에 있어서, 상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브 내의 탈기체를 질량수(atomic mass number)에 따라 분석하는 단계를 더 포함하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-1063089-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20091102 출원 번호 : 1020090104757 공고 연월일 : 20110907 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110826 청구범위의 항수 : 7 유별 : G01N 1/44 발명의 명칭 : 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법 존속기간(예정)만료일 : 20170901

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	159,000 원	2011년 08월 31일	납입
제 4 년분	금 액	135,800 원	2014년 07월 08일	납입
제 5 년분	금 액	135,800 원	2015년 08월 03일	납입
제 6 년분	금 액	135,800 원	2016년 07월 22일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2009.11.02	수리 (Accepted)	1-1-2009-0670785-17
2	[출원서등 보정]보정서	2010.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2010-0457585-10
3	선행기술조사의뢰서	2011.06.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2011.07.14	수리 (Accepted)	9-1-2011-0059048-77
5	등록결정서	2011.08.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0481007-31
6	출원인정보변경(경정)신고서	2014.01.09	수리 (Accepted)	4-1-2014-5004381-25
7	출원인정보변경(경정)신고서	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266645-00
8	출원인정보변경(경정)신고서	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266627-88
9	출원인정보변경(경정)신고서	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266640-72


과제고유번호	1345095882
세부과제번호	K09007
연구과제명	전략산업측정기술개발(일반)
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	기초기술연구회
연구주관기관명	한국표준과학연구원
성과제출연도	2009
연구기간	200901~200912
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

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