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고에너지 하전입자 스펙트로미터

  • 기술번호 : KST2015180277
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료에 1차입사를 조사하여 시료로부터 방출되는 2차하전입자를 분석하는 스펙트로미터에 있어서, 2차하전입자가 입사되는 메쉬전극; 및 메쉬전극에 연동되고, 외부에서 전압이 인가되는 제 1 전극, 제 2 전극, 제 3 전극, 제 4 전극 및 제 5 전극으로 구성되는 원통형 정전렌즈 전극;으로 구성되는 정전렌즈계;를 포함하고, 그리고 제 2 전극을 관통하고 소정의 크기의 개구부를 구비하는 제 1 영상평면 및 제 4 전극을 관통하고 소정의 크기의 개구부를 구비하는 제 2 영상평면이 형성되며, 고에너지를 갖는 2차하전입자를 수차 없이 집속하여 분석하는 것을 특징으로 하는 고에너지 하전입자 스펙트로미터를 제공한다. 본 발명에 따르면 정전렌즈계의 구성 및 제 1 전극 내지 제 5 전극에 인가되는 전압을 조절하여 시료에서부터 방출되는 2차하전입자 중 저에너지영역의 2차하전입자뿐만 아니라 동시에 고에너지 영역의 2차하전입자를 검출하여 시간 및 비용의 절감에 기여할 수 있으며, 또한 고에너지 영역의 2차하전입자를 검출함으로써 분해능이 향상된 스펙트럼을 획득할 수 있는 장점이 있다. 시료, 고에너지 하전입자, 수차, 원통형 정전렌즈, 에너지 분석기, 스펙트럼, 영상
Int. CL G01N 21/25 (2006.01) H01J 49/08 (2006.01) H01J 37/244 (2006.01)
CPC H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01)
출원번호/일자 1020060129941 (2006.12.19)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0833647-0000 (2008.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조만호 대한민국 대전 유성구
2 장문형 대한민국 서울 성동구
3 노용석 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0939652-15
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0604104-31
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0005046-30
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0005049-77
5 등록결정서
Decision to grant		 2008.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0229806-67
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
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번호 청구항
1 1
시료에 1차입사를 조사하여 시료로부터 방출되는 2차하전입자를 분석하는 스펙트로미터에 있어서,상기 2차하전입자가 입사되는 메쉬전극(102); 및상기 메쉬전극에 연동되고, 외부에서 전압이 인가되는 제 1 전극(104), 제 2 전극(106), 제 3 전극(108), 제 4 전극(110) 및 제 5 전극(112)으로 구성되는 원통형 정전렌즈 전극;으로 구성되고, 그리고상기 제 2 전극(106)을 관통하고 상기 2차하전입자가 통과할 수 있는 개구부를 구비하는 제 1 영상평면; 및 상기 제 4 전극(110)을 관통하고 상기 2차하전입자가 통과할 수 있는 개구부를 구비하는 제 2 영상평면;이 형성된 정전렌즈계를 포함하며, 그리고고에너지를 갖는 2차하전입자를 수차 없이 집속하여 분석하는 것을 특징으로 하는 고에너지 하전입자 스펙트로미터
2 2
제 1 항에 있어서,상기 정전렌즈계에 연결되어 상기 2차하전입자가 에너지에 따라 분산되도록 하는 에너지 분석기; 및상기 에너지 분석기를 통과한 상기 2차하전입자의 스펙트럼 또는 영상을 획득하는 전자회로계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 하전입자 스펙트로미터
3 3
제 2 항에 있어서,상기 전자회로계는상기 2차하전입자의 신호를 증폭시키는 마이크로채널 플레이트(130);상기 마이크로채널 플레이트(130)상의 신호의 위치를 검출하는 위치 검출기(140); 상기 스펙트로미터에 대한 제어 및 고전압을 공급하는 스펙트럼제어 유닛(150); 및 스펙트럼 및 영상 획득을 컴퓨터에서 가능하도록 하는 데이터 시스템(160);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 고에너지 하전입자 스펙트로미터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.