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제1 용기; 상기 제1 용기에 이격되어 배치된 제2 용기;진폭을 가지고 내부의 체적을 주기적으로 변경하고 상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부; 및상기 제1 용기 및 상기 제2 용기에 연결된 차압계를 포함하고,상기 체적 변조부는 상기 진폭을 가지고 시간에 따라 제1 주기를 가지고 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고,상기 차압계의 감도 및 상기 체적 변조부의 체적 변화와 상기 차압계의 측정 신호 사이의 지연 시간이 조절되어, 상기 차압계의 측정 신호를 교정하고, 상기 체적 변조부의 상기 진폭 및 상기 제1 주기는 변경되어, 다시 상기 차압계의 측정 신호를 교정하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치
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제1 항에 있어서,상기 체적 변조부는 주름관을 사용하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치
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제1 항에 있어서,상기 체적 변조부는 시간에 따라 직선형, 또는 사인 함수형인 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 용기와 상기 제2 용기를 연결하는 연결 파이프;및상기 연결 파이프를 개폐하는 연결 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 용기에 가스를 공급하는 제1 가스 공급라인;상기 제1 가스 공급 라인을 개폐하는 제1 가스 공급 밸브;상기 제2 용기에 가스를 공급하는 제2 가스 공급라인; 상기 제2 가스 공급 라인을 개폐하는 제2 가스 공급 밸브;상기 제1 용기를 배기하는 제1 펌핑 라인; 상기 제1 펌핑 라인을 개폐하는 제1 펌핑 밸브;상기 제2 용기를 배기하는 제2 펌핑 라인; 및상기 제2 펌핑 라인을 개폐하는 제2 펌핑 밸브 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치
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제1 용기 및 제2 용기의 부피 및 압력을 측정하는 단계;상기 제1 용기의 부피를 시간에 따라 제1 주기를 가지고 변조하는 단계;상기 제1 용기와 상기 제2 용기의 압력의 차이를 차압계로 측정하는 단계; 상기 제1 용기와 상기 제2 용기의 압력의 차이를 차압계로 측정하고, 상기 차압계의 감도 및 지연 시간이 조절되어 상기 차압계가 교정되는 단계; 및상기 제1 용기의 부피의 변조되는 진폭 및 상기 제1 주기를 변경하여, 상기 제1 용기와 상기 제2 용기의 압력의 차이를 차압계로 측정하고, 상기 차압계의 감도 및 지연 시간이 조절되어 상기 차압계가 교정되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 방법
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제6 항에 있어서,상기 제1 용기의 부피의 시간에 따른 변조는 피스톤 또는 주름관을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 방법
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제6 항에 있어서,제1 용기 및 제2 용기를 연결하는 연결하는 연결관에 배치된 연결 밸브를 개방하여 상기 제1 용기 및 상기 제2 용기의 압력을 동일하게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 차압계 교정 방법
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제1 용기; 상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부; 및상기 제1 용기에 연결된 압력계를 포함하고,상기 체적 변조부는 시간에 따라 제1 주기 및 진폭을 가지고 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고 상기 압력계의 측정 신호를 교정하고,상기 압력계의 감도 및 상기 체적 변조부의 체적 변화와 상기 압력계의 측정 신호 사이의 지연 시간이 조절되어, 상기 압력계의 측정 신호를 교정하고, 상기 체적 변조부의 상기 진폭 및 상기 제1 주기는 변경되어, 다시 상기 압력계의 측정 신호를 교정하는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 장치
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제9 항에 있어서,상기 제1 용기의 부피의 시간에 따른 변조는 피스톤 또는 주름관을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 장치
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제1 용기의 부피 및 압력을 측정하는 단계;상기 제1 용기의 부피를 시간에 따라 제1 주기 및 진폭을 가지고 변조하는 단계;상기 제1 용기의 압력을 압력계로 측정하는 단계; 상기 압력계의 감도 및 상기 진폭과 상기 압력계의 측정 신호 사이의 지연 시간이 조절되어, 상기 압력계의 측정 신호를 교정하는 단계; 및 상기 진폭 및 상기 제1 주기는 변경되어, 다시 상기 압력계의 측정 신호를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 방법
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