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(S1) 두께가 서로 다른 다수의 산화물 박막을 증착하는 단계;
(S2) 상기 (S1)단계의 증착된 다수의 박막의 두께를 단위소급성두께측정법으로 측정하는 단계;
(S3) 상기 (S1)단계의 증착된 다수의 박막의 두께를 절편소급성두께측정법으로 측정하는 단계;
(S4) 상기 (S2)단계의 결과를 y축에, 상기 (S3)단계의 결과를 x축에 각각 도시한 후, 이를 선형피팅하여 기울기(m)와 오프셋(c)을 구하는 단계; 및
(S5) 상기 (S3)단계의 결과에 (S4)단계에서 구한 기울기(m)를 곱하여 보정하여 박막의 두께를 인증하는 단계;
로 이루어지는 나노미터 산화물 박막의 두께 인증방법
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제1항에 있어서,
상기 (S2)의 단위소급성두께측정법은 투과전자현미경(transmission electron microscoopy, TEM) 또는 엑스선 반사법(X-ray reflectance, XRR)으로 측정되는 것을 특징으로 하는 나노미터 산화물 박막의 두께 인증방법
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제1항에 있어서,
상기 (S2)단계에서 상기 산화물 박막 상부에 Ge층을 캡핑(capping)하여 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 나노미터 산화물 박막의 두께 인증방법
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제1항에 있어서,
상기 (S3)의 절편소급성두께측정법은 엑스선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)으로 측정되는 것을 특징으로 하는 나노미터 산화물 박막의 두께 인증방법
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