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내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10);상기 진공용기(10)의 외부로부터 투시창(49)을 통해 레이저(72)를 조사하는 레이저 조사수단;상기 진공용기(10) 내에 구비되어, 상기 레이저(72)와 상기 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 미세채널판(70);상기 미세채널판(70)과 연결되어 상기 미세채널판(70)에 의한 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 이온 증폭기(42);상기 이온 증폭기(42)와 연결되어 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 스펙트럼 분석기(44); 및상기 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 전류-압력 변환기(46);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 조사수단은 야그(YAG) 레이저 발진장치인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 이온 증폭기(42)는 검출된 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 스펙트럼 분석기(44)의 분석 결과는 분석 신호의 진폭인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치
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제 4 항에 있어서, 상기 분석 신호의 진폭은 최대 진폭인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치
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진공용기(10)의 내부에 소정 진공압력을 형성하는 단계(S10);상기 진공용기(10)의 투시창(49)에 레이저 발진장치(40)를 밀착시켜 상기 진공용기(10) 내로 레이저(72)를 조사하는 단계(S20);상기 진공용기(10)내의 미세채널판(70)이 상기 레이저(72)와 상기 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 단계(S30);이온 증폭기(42)가 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 단계(S40);스펙트럼 분석기(44)가 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 단계(S50); 및전류-압력 변환기(46)가 상기 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 단계(S60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법
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제 6 항에 있어서, 상기 증폭단계(S40)는 상기 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 출력단계(S50)는,분석 신호의 진폭을 분석하는 단계(S52); 및분석된 진폭들중 최대 진폭을 소정 전류로 출력하는 단계(S55);를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 진공압력 형성단계(S10)는 진공압력이 10-7 Pa 이하가 되도록 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법
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