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다수개의 셀이 형성된 면적선원이 될 시료가 위치하는 시료구비영역이 구비된 진공챔버부;
상기 진공챔버부 내부의 공기를 배기하는 진공배기부; 및
상기 진공챔버부와 연결되고, 상기 다수개의 셀에 방사성 동위원소 입자를 주사하는 동위원소부;를 포함함으로써,
상기 면적선원이 될 시료에 형성된 상기 다수개의 셀에 방사성 동위원소를 균질하게 침착시키는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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제 1 항에 있어서,
상기 진공챔버부는,
상기 다수개의 셀이 형성된 면적선원이 될 시료가 위치하는 시료구비부; 및
상하이동가능하고, 상기 시료구비부의 상부에 구비되어 상기 시료구비부의 상부를 뒤덮는 개폐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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3
제 2 항에 있어서,
상기 개폐부와 상기 진공배기부가 연결되고,
상기 개폐부에는 진공배기를 위한 다수개의 배기홀이 형성된 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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4
제 2 항에 있어서,
상기 개폐부와 상기 동위원소부가 연결되고,
상기 개폐부에는 방사성 동위원소 입자를 주사하기 위한 통로인 주사공이 다수개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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5
제 2 항에 있어서,
상기 개폐부와 상기 시료구비부의 가장자리 둘레에는 패킹부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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제 1 항에 있어서,
상기 진공배기부는 상기 진공챔버부를 10-3~ 10-4torr의 진공상태로 만드는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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제 1 항에 있어서,
상기 진공챔버부에는 상기 진공챔버부의 진공상태를 표시하는 진공게이지가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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8
제 1 항에 있어서,
상기 동위원소부에는 주사되는 상기 방사성 동위원소 입자의 양을 조절하는 조절레버부;가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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9
제 1 항에 있어서,
상기 진공챔버부와 상기 동위원소부중 적어도 어느 하나는 스테인레스 스틸인 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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10
제 1 항에 있어서,
상기 다수개의 셀이 형성된 면적선원이 될 시료는 양극산화방법에 의하여 제작된 알루미늄 시료인 것을 특징으로 하는 동위원소 침착장치
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11
진공챔버부의 시료구비영역에 다수개의 셀이 형성된 면적선원이 될 시료가 위치하는 단계;
진공배기부를 이용하여 상기 진공챔버부 내부의 공기를 배기하여 상기 다수개의 셀을 진공상태로 만드는 단계;
동위원소부가 상기 다수개의 셀에 방사성 동위원소 입자를 주사하는 단계; 및
상기 다수개의 셀에 형성된 활성층에 상기 방사성 동위원소 입자가 침착되는 단계;를 포함함으로써,
상기 면적선원이 될 시료에 형성된 상기 다수개의 셀에 방사성 동위원소를 균질하게 침착시키는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착방법
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12
제 11 항에 있어서,
상기 시료위치단계는,
상기 진공챔버부의 하부에 위치하는 시료구비부에 상기 면적선원이 될 시료를 구비하는 단계; 및
상기 시료구비부를 상기 진공챔버부의 상부에 위치하는 개폐부로 덮는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착방법
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13
제 11 항에 있어서,
상기 진공배기부를 이용하여, 상기 진공챔버부를 대기압 상태로 만드는 단계: 및
상기 진공챔버부로부터 상기 방사성 동위원소 입자가 침착된 시료를 분리하는 단계;가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착방법
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14
제 11 항에 있어서,
상기 진공배기단계는 상기 진공챔버부가 10-3~ 10-4torr의 진공상태가 되도록 배기하는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착방법
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제 11 항에 있어서,
상기 동위원소 침착단계는,
상기 방사성 동위원소 입자의 균질도가 상기 시료에 대하여 3% 이하가 되도록 침착하는 것을 특징으로 하는 동위원소 침착방법
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