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챔버 배출 가스 모니터링 자동 검교정 장치

  • 기술번호 : KST2015180316
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 챔버 배출 가스의 연속 순차 모니터링 및 자동검교정 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 검정을 위한 가스용기, 미지의 가스시료를 포집하는 가스포집부, 교정을 위한 가스용기, 및 가스분석부를 연결하고, 미리 결정된 운용 시퀀스에의한 챔버 배출 가스 모니터링 시스템과 이로부터 얻어지는 데이터에 대한 자동 검교정이 가능한 챔버 배출 가스 모니터링 자동 검교정 장치를 제공한다.
Int. CL G01N 33/00 (2006.01) G01N 1/26 (2006.01)
CPC G01N 33/0006(2013.01) G01N 33/0006(2013.01) G01N 33/0006(2013.01) G01N 33/0006(2013.01)
출원번호/일자 1020140027492 (2014.03.10)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1553667-0000 (2015.09.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.10)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강남구 대한민국 대전광역시 유성구
2 김용두 대한민국 대전광역시 유성구
3 배현길 대한민국 대전광역시 유성구
4 김병문 대한민국 대전광역시 유성구
5 오상협 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0227737-18
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0227257-15
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-5003342-74
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.02.04 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2015-5005372-80
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2015.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0037522-81
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2015.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0041480-01
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-5010227-96
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0034608-15
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0395615-89
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0779675-67
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0779668-47
13 등록결정서
Decision to grant		 2015.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0615306-81
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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검정용 가스가 저장된 검정가스용기(100);상기 검정가스용기(100)와 연결되며, 상기 검정가스용기(100)에 저장된 검정용 가스의 압력을 낮추어 저장하는 대기압저장부(150);개폐도어를 포함하며, 특정 가스의 배출량을 측정하기 위해 가스를 포집하는 가스포집부(200);가스 시료의 성분을 분석하는 가스분석부(300);다수의 입구부 및 하나의 출구부를 포함하며, 상기 대기압저장부(150) 및 상기 가스포집부(200)는 상기 입구부와 각각 연결되고, 상기 가스분석부(300)는 상기 출구부와 연결되며, 상기 입구부로 이송된 가스가 상기 가스분석부(300)로 이동되도록 제어하는 선택밸브부(400);상기 대기압저장부(150), 상기 가스포집부(200), 상기 가스분석부(300) 및 상기 선택밸브부(400)와 각각 신호선으로 연결되며, 미리 결정된 운용시퀀스에 따라 각각의 상기 대기압저장부(150), 상기 가스포집부(200), 상기 가스분석부(300) 및 상기 선택밸브부(400)에 제어명령을 보내는 중앙제어부(500);상기 가스분석부(300)로부터 분석된 데이터를 저장하는 데이터저장부(600); 및상기 선택밸브부(400)의 입구부와 연결되며, 교정용 가스가 저장된 교정가스용기(700);를 포함하며,상기 중앙제어부(500)는외부로부터 운용시퀀스가 입력되는 시퀀스설정부(510);상기 시퀀스설정부(510)에 입력된 운용시퀀스에 따라, 상기 가스포집부(200)의 개폐도어를 열고 닫는 개폐도어 제어명령을 상기 가스포집부(200)로 보내는 챔버개폐제어부(520);상기 시퀀스설정부(510)에 입력된 운용시퀀스에 따라, 상기 선택밸브부(400)를 제어하도록 시료이송 제어명령을 상기 선택밸브부(400)로 보내는 시료이송제어부(530);상기 시퀀스설정부(510)에 입력된 운용시퀀스에 따라, 상기 대기압저장부(150)를 제어하도록 대기압검정가스 제어명령을 상기 대기압저장부(150)로 보내는 검정가스제어부(540); 및 상기 데이터저장부(600)와 연결되며, 상기 데이터저장부(600)에 저장된 데이터 중 가스 배출량 측정의 신뢰성을 평가하기 위한 검정 데이터를 상호 비교하여 상기 데이터저장부(600)에 저장된 데이터의 신뢰성을 평가하는 신뢰성평가부(550);를 포함하고,상기 신뢰성평가부(550)에 의해 가스 배출량 측정의 신뢰성을 평가하기 위한 검정 데이터의 신뢰성 평가가 미리 결정된 기준범위를 벗어날 경우, 상기 중앙제어부(500)가 상기 시퀀스설정부(510)에 입력된 운용시퀀스에 따른 순차제어를 일시 중지하고, 상기 교정가스용기(700)의 교정용 가스를 이용하여 상기 가스분석부(300) 또는 상기 챔버 배출 가스 모니터링 자동 검교정 장치를 교정하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 챔버 배출 가스 모니터링 자동 검교정 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 기관고유사업 2-2-2현안대응 가스분석 측정표준 확립