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광원;상기 광원의 출력광을 제공받아 평행광을 제공하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈를 통과한 입사광을 제공받아 다층 구조의 시료에 제공하고 상기 시료로부터 반사된 샘플광을 투과시키는 광분할기;상기 광분할기가 제공하는 상기 입사광을 집속시키어 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부;상기 광분할기를 투과한 상기 샘플광을 집속시키는 집속 렌즈;상기 집속 렌즈의 초점 거리에 배치된 핀홀; 상기 핀홀의 후단에 배치되는 광검출기;상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부; 및상기 광검출기의 출력 신호를 제공받고 상기 유체량 조절부를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 제어부는 상기 유체 렌즈부가 다층 구조의 시료의 각 층에 대응하는 초점 거리 또는 상기 유체 렌즈부가 다층 구조의 시료의 각 층에 대응하는 피크 유체량을 가지도록 상기 유체량 조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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광원;상기 광원의 출력광을 제공받아 평행광을 제공하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈를 통과한 입사광을 제공받아 다층 구조의 시료에 제공하고 상기 시료로부터 반사된 샘플광을 투과시키는 광분할기;상기 광분할기가 제공하는 상기 입사광을 집속시키어 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부;상기 광분할기를 투과한 상기 샘플광을 집속시키는 집속 렌즈;상기 집속 렌즈의 초점 거리에 배치된 핀홀; 상기 핀홀의 후단에 배치되는 광검출기; 및상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부를 포함하고,상기 유체 렌즈부는:고정된 형상을 가지는 고체 렌즈;상기 고체 렌즈의 주위를 감싸는 유체 렌즈 하우징; 및그 일면은 상기 고체 렌즈에 접하고, 그 타면은 가요성 멤브레인에 의하여 막혀있는 유체 렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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광원;상기 광원의 출력광을 제공받아 평행광을 제공하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈를 통과한 입사광을 제공받아 다층 구조의 시료에 제공하고 상기 시료로부터 반사된 샘플광을 투과시키는 광분할기;상기 광분할기가 제공하는 상기 입사광을 집속시키어 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부;상기 광분할기를 투과한 상기 샘플광을 집속시키는 집속 렌즈;상기 집속 렌즈의 초점 거리에 배치된 핀홀; 상기 핀홀의 후단에 배치되는 광검출기; 및상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부를 포함하고,상기 시준 렌즈를 통과한 입사광의 일부를 투과시키는 광분할기가 제공하는 기준 광을 반사시키는 기준 거울; 및상기 광분할기와 상기 기준 거울 사이에 배치되어 상기 기준 광의 세기를 상기 유체 렌즈부의 입력 체적에 따라 제어하는 광량 조절부를 더 포함하고,상기 기준광은 상기 광분할기에서 반사되어 상기 핀홀에 제공되고,상기 기준광과 상기 샘플광은 간섭광을 생성하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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제4 항에 있어서,상기 광량 조절부는 상기 간섭광의 가시도를 향상시키도록 상기 유체 렌즈부의 입력 체적 또는 초점 거리에 따라 투과율을 제어하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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광원;상기 광원의 출력광을 제공받아 평행광을 제공하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈를 통과한 입사광을 제공받아 다층 구조의 시료에 제공하고 상기 시료로부터 반사된 샘플광을 투과시키는 광분할기;상기 광분할기가 제공하는 상기 입사광을 집속시키어 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부;상기 광분할기를 투과한 상기 샘플광을 집속시키는 집속 렌즈;상기 집속 렌즈의 초점 거리에 배치된 핀홀; 상기 핀홀의 후단에 배치되는 광검출기; 및상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부를 포함하고,변조 주파수의 정현파를 발생시키는 함수 발생기;상기 광검출기의 출력신호로부터 상기 변조 주파수의 성분 또는 그 고조파 성분을 추출하는 록인 증폭기; 및상기 록인 증폭기의 상기 변조 주파수의 성분 또는 그 고조파 성분을 제공받아 상기 유체 렌즈부가 다층 구조의 시료의 각 층에 대응하는 초점 거리를 가지는 피크 입력 체적을 추출하는 제어부;를 더 포함하고,상기 유체량 조절부는 상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적을 상기 변조 주파수로 변조시키는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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광원;상기 광원의 출력광을 제1 광섬유로 제공받아 제2 광섬유로 출력하고, 다층 구조의 시료에서 반사된 샘플광을 상기 제2 광섬유로 제공받아 제3 광섬유로 출력하는 광 서큘레이터;상기 제2 광섬유의 일단에서 방사된 입사광을 제공받아 평행광을 출력하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈를 통하여 제공된 입사광을 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부;상기 시료에서 반사된 상기 샘플광을 상기 유체 렌즈부, 상기 시준 렌즈, 상기 제2 광섬유, 상기 광 서큘레이터, 및 상기 제3 광섬유를 통하여 제공받는 광검출기;상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부; 및상기 유체량 조절부를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제2 광섬유의 일단은 상기 시준 렌즈의 초점 거리에 배치되는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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제 7 항에 있어서,변조 주파수의 정현파를 발생시키는 함수 발생기; 및상기 광검출기의 출력신호로부터 상기 변조 주파수의 성분 또는 그 고조파 성분을 추출하는 록인 증폭기를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 록인 증폭기의 상기 변조 주파수의 성분 또는 그 고조파 성분을 제공받아 상기 유체 렌즈부가 다층 구조의 시료의 각 층에 대응하는 초점 거리를 가지는 피크 입력 체적을 추출하고,상기 유체량 조절부는 상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적을 상기 변조 주파수로 변조시키는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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제8 항에 있어서,상기 제어부는 순차적으로 상기 피크 유체량을 유지하도록 상기 유체량 조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치
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유체 렌즈부를 포함하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법에 있어서,상기 다층 구조 측정 장치의 유체 렌즈부에 제공되는 입력 체적을 변경하면서 입사광을 다층 구조의 시료에 제공하는 단계;상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따라 상기 시료에 반사된 샘플광을 검출하는 단계; 및상기 샘플광을 분석하여 상기 입력 체적에 따라 상기 시료의 각 층에 대응하는 피크 입력 체적을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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제10 항에 있어서,상기 피크 입력 체적 마다 상기 시료를 스캔하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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다층 구조의 시료를 측정하는 유체 렌즈부를 포함하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법에 있어서,상기 유체 렌즈부의 입력 체적에 따라 상기 시료의 경계면에 대응하는 피크 입력 체적들을 추출하는 단계; 및상기 피크 입력 체적들 각각에서 상기 시료를 스캔하여 영상을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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제12 항에 있어서,상기 유체 렌즈부의 입력 체적에 따라 상기 시료의 경계면에 대응하는 피크 입력 체적들을 추출하는 단계는:상기 다층 구조 측정 장치의 유체 렌즈부에 제공되는 입력 체적을 변경하면서 입사광을 다층 구조의 시료에 제공하는 단계;상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따라 상기 다층 구조 측정 장치의 광검출기의 출력 신호를 검출하는 단계; 및상기 입력 체적에 따라 상기 광검출기의 출력신호의 피크에 대응하는 피크 입력 체적을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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제12 항에 있어서,상기 유체 렌즈부의 입력 체적에 따라 상기 시료의 경계면에 대응하는 피크 입력 체적들을 추출하는 단계는:상기 다층 구조 측정 장치의 유체 렌즈부에 제공되는 입력 체적을 변조 주파수를 가지는 정현파 변조하면서 입사광을 다층 구조의 시료에 제공하는 단계;상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따라 상기 다층 구조 측정 장치의 광검출기의 출력 신호를 검출하는 단계;록인(lock-in) 증폭기를 이용하여 상기 광검출기의 출력 신호에서 상기 변조 주파수 성분 또는 상기 변조 주파수의 고조파 성분을 감지하는 단계; 상기 유체 렌즈부에 제공되는 상기 입력 체적을 변경하는 단계; 및상기 입력 체적에 따른 상기 변조 주파수 성분 또는 상기 변조 주파수의 고조파 성분의 피크에 대응하는 피크 입력 체적을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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제12 항에 있어서,상기 유체 렌즈부의 입력 체적에 따라 상기 시료의 경계면에 대응하는 피크 입력 체적들을 추출하는 단계는: 광분할기 및 기준 거울을 통하여 기준 광신호를 생성하는 기준 광경로를 제공하는 단계;상기 광분할기와 상기 시료를 통하여 샘플광 신호를 생성하는 샘플광 경로를 개방하고 상기 기준광 경로를 차단한 상태에서 상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따라 상기 다층 구조 측정 장치의 샘플광신호의 프로파일을 검출하는 단계;상기 샘플광 경로를 차단하고 상기 기준광 경로를 개방한 상태에서, 상기 광분할기와 상기 기준 거울 사이에 배치된 광량 조절부를 제어하여 상기 입력 체적에 따른 기준광 신호의 프로파일을 상기 샘플광 신호의 프로파일과 동일하게 제공하는 단계;상기 샘플광 경로를 개방하고 상기 기준광 경로를 개방한 상태에서 상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따라 기준 광신호와 샘플광신호의 간섭 신호를 측정하는 단계; 및상기 유체 렌즈부의 상기 입력 체적에 따른 상기 간섭 신호의 최대 피크에 대응하는 피크 입력 체적을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 구조 측정 장치의 측정 방법
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