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세라믹 박막 제작용 가열 장치에 있어서, 반사경(4)과 오일레스 베어링(26)으로 결합되는 몸체(2)와 이 몸체(2)에 볼트(211)로 체결되며 일측으로 기판(27)을 부착하는 기판홀더(21)로 구성되어 진공챔버(5) 외부 표준 플랜지(1)에 설치된 모터(23)의 작동으로 기어(24)에 의해 회전되는 회전장치와, 표준 플랜지(1)의 외측으로 설치되며 반사경(4)과 몸체(2)를 원판(22)에 체결하고 이 원판(22)은 지지봉(31)으로 지지되어 슬라이딩 되어지도록 구성되어 전체장치의 위치를 조절할 수 있는 선형이동장치와, 표준 플랜지(1)의 끝에 설치되며 리드선(411)을 갖는 할로겐 램프(41)와 열효율을 높이기 위한 반사경(4)으로 구성되는 가열장치와, 램프(41)에 전력을 공급하며 반사경(4)의 측면으로 삽입된 열전쌍(61)의 끝에 기판홀더(21)를 접촉하여 기판(27)의 가열온도를 측정하고 외부의 제어판(6)에서 제어할 수 있도록 진공챔버(5) 외부에 설치되는 제어장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막 제작용 고온 가열 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 회전장치, 가열장치, 이동장치를 표준 플랜지(1)에 일체로 구성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막 제작용 고온 가열 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 반사경(4)과 할로겐 램프(41)의 리드선(411)이 가열로 인하여 손상되는 것을 방지하기 위하여 진공챔버(5) 외부의 냉각수 탱크(도시 없음)로부터 냉각수를 순환 시키는 냉각수 공급 플랜지(12)를 원판(22)에 장착하고 이 플랜지(12)를 통해 파이프(121)로 냉각수를 유입 방출하도록 하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막 제작용 고온 가열 장치
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제 1 항에 있어서, 반사경(4)은 금도금 된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막 제작용 고온 가열 장치
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제 1 항에 있어서, 기판홀더(21)를 비접촉식으로 가열하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막 제작용 고온 가열 장치
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