| 1 |
1
음향파를 측정하는 센서에 있어서, 밀봉된 액체상 및 기체상으로 채워진 도파관(100)과; 상기 도파관(100) 내로 음향파가 전달되도록 도파관(100)과 일측에 형성된 진동막(400)과,상기 진동막(400) 반대편의 도파관(100)에 설치되어 도파관(100)을 통과한 음향파를 외부로 방출시키는 방출막(500)과,상기 도파관(100) 내에서 음향파의 진행 방향과 평행한 방향으로 형성된 하부기판(600)과,상기 하부기판(600)에 적어도 2개 이상의 압전 외팔보(200)가 설치되며,상기 도파관(100)이 음향파의 에너지 밀도의 감소를 방지하기 위해 진동막(400) 쪽에서 방출막(500) 쪽으로 갈수록 단면적이 감소하는 형태의 도파관(110)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 2 |
2
음향파를 측정하는 센서에 있어서, 밀봉된 액체상 및 기체상으로 채워진 도파관(100)과; 상기 도파관(100) 내로 음향파가 전달되도록 도파관(100)과 일측에 형성된 진동막(400)과,상기 진동막(400) 반대편의 도파관(100)에 설치되어 도파관(100)을 통과한 음향파를 외부로 방출시키는 방출막(500)과,상기 도파관(100) 내에서 음향파의 진행 방향과 평행한 방향으로 형성된 하부기판(600)과,상기 하부기판(600)에 적어도 2개 이상의 압전 외팔보(200)가 설치되며,상기 도파관(100)이 음향파의 에너지 밀도의 감소를 방지하기 위해 진동막(400) 쪽에서 방출막(500) 쪽으로 갈수록 단면적이 점점 감소하는 형태의 도파관(110)과 단면적이 점점 증가하는 형태의 도파관(120)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 3 |
3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,동일한 고유진동수를 가지는 다수개의 압전 외팔보(200)와,서로 다른 고유진동수를 가지는 다수개의 압전 외팔보(200)를 설치하여 공진형 음향센서와 광대역형 센서의 역할을 할 수 있는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 4 |
4
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압전 외팔보(200)는 하부 기판상(600)에 2차원 배열로 설치됨을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 5 |
5
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압전 외팔보(200)를 하부 기판상(600)에 설치함에 있어, 음향파의 진행방향에 수직인 방향으로는 동일한 고유진동수를 가지는 동일한 크기의 압전 외팔보(200)를 배열하되, 음향파의 진행방향으로는 앞쪽에는 고유진동수가 높은 압전 외팔보(200)를 위치시키고, 뒤쪽으로는 고유진동수가 낮은 압전 외팔보(200)를 설치하는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 6 |
6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압전 외팔보(200)는 압전 세라믹으로 형성된 압전재료(210)의 양면에 전극면(220)을 부착하고 그 외부를 전기적 절연을 위해 절연물질(230)이 도포된 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 7 |
7
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압전 외팔보(200)는 압전재료(210)를 금속과 같은 탄성체로 형성되며, 상기 압전재료(210)의 한쪽 면에 양쪽으로 전극면이 형성되어 있는 박막(250)을 부착하고 그 외부를 전기적 절연을 위해 절연물질(230)이 도포된 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 8 |
8
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압전 외팔보(200)의 기하학적 형상이 직육면체, 원기둥, 직사면체, 원추형, 역원추형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 9 |
9
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 진동막(400)과 방출막(500)이 동일한 방향으로 형성되도록 도파관이 'U'자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 10 |
10
제 1항 또는 제 2항에 있어서,압전 외팔보(200)의 고유진동수는 와 같은 식에 의해 구해짐을 특징으로 하는 압전 외팔보를 이용한 음향센서
|
| 11 |
11
삭제
|
