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일측에 구비된 개방부와 소정의 내부공간을 구비한 경량화가공부가 복수로 형성되어 있는 대형광학계의 균일에칭장치에 있어서,
에칭액이 주입되는 주입구와 상기 에칭액이 배출되는 배출구를 구비하여, 상기 에칭액을 저장하고, 상기 대형광학계를 상기 에칭액에 침지 가능한 에칭탱크;
상기 경량화가공부 각각에 삽입되고, 각각이 길이 방향 축을 중심으로 회전 가능한 회전 막대; 및
상기 회전막대에 구비되어 상기 회전 막대가 회전함에 따라 상기 에칭액에 난류를 발생시키는 난류발생부재를 포함하여 상기 대형광학계를 균일하게 에칭하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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제 1 항에 있어서,
상기 회전막대는 상기 에칭액에 반응하지 않는 재질인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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3
제 2 항에 있어서,
상기 회전막대는 세라믹인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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4
제 1 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 상기 에칭액에 반응하지 않는 재질인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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5
제 4 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 팬 또는 끈의 형태인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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6
제 5 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 탄소섬유 또는 세라믹 코팅 섬유인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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7
제 1 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 상기 회전 막대에 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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8
제 1 항에 있어서,
상기 회전막대 각각에 연결된 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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9
제 8 항에 있어서,
상기 회전막대 각각에 연결된 모터를 제어하여 상기 회전막대의 회전속도를 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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10
제 9 항에 있어서,
상기 회전막대의 상부측에 결합되어 상기 회전막대를 상하이동시키는 1축 스테이지를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 1축 스테이지를 제어하여 상기 회전막대와 상기 내부공간의 바닥면 사이 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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11
제 1 항에 있어서,
상기 회전막대는 중공관이고,
상기 회전막대 각각에 연결된 공기주입관; 및
상기 공기주입관에 연결된 압축기를 더 포함하여 상기 회전막대의 하부끝에서 공기방울이 방출되는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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12
제 11항에 있어서,
상기 압축기의 압력을 측정하는 압력측정기; 및
상기 압축기를 제어하여 상기 회전막대에서 방출되는 상기 공기방울의 배출속도를 조절하는 조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭장치
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13
일측에 구비된 개방부와 소정의 내부공간을 구비한 경량화가공부가 복수로 형성되어 있는 대형광학계의 균일에칭방법에 있어서,
에칭탱크의 주입구에 에칭액을 투입하여 에칭액을 상기 에칭탱크 내에 저장시키는 단계;
상기 에칭탱크 내에 저장된 에칭액에 상기 대형광학계를 침지시키는 단계;
상기 내부공간의 내부면에 일정간격을 두고 상기 경량화가공부 각각에 회전막대를 삽입시키는 단계;
상기 회전막대 상부측에 연결된 모터의 구동으로 상기 회전막대를 길이방향 축을 중심으로 회전시켜, 상기 회전막대에 구비된 난류발생부재에 의해 상기 내부공간 내에 존재하는 상기 에칭액에 난류가 발생하는 단계; 및
상기 난류의 발생에 의해 상기 내부면이 균일하게 에칭되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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14
제 13 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 상기 회전막대에 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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15
제 13 항에 있어서,
상기 삽입단계는,
제어부가 상기 회전막대에 결합된 1축 스테이지를 제어하여 상기 회전막대와 상기 내부공간의 바닥면 사이의 거리를 조절하는 단계를 더 포함하고,
상기 난류발생단계는,
제어부가 상기 회전막대 각각에 연결된 상기 모터를 제어하여 상기 회전막대의 회전속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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16
제 13 항 또는 제 15 항에 있어서,
상기 회전막대는 중공관 형태이며, 상기 회전막대 각각에 연결된 공기주입관과 상기 공기주입관에 연결된 압축기를 더 포함하여,
상기 난류발생단계는,
상기 회전막대에서 공기방울이 방출되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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17
제 16 항에 있어서,
상기 난류발생단계는,
조절수단이 상기 압축기를 제어하여 상기 회전막대에서 방출되는 상기 공기방울의 배출속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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18
제 13 항에 있어서,
상기 회전 막대 및 상기 난류발생부재는 상기 에칭액과 반응하지 않는 재질인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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19
제 18 항에 있어서,
상기 난류발생부재는 팬 또는 끈의 형태인 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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20
제 13 항에 있어서,
상기 대형광학계는 유리재질이며 인공위성용 대형광학계이고, 상기 경량화가공부의 가공에 의해 상기 내부공간에 크랙이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 경량화가공부를 포함하는 대형광학계의 균일에칭방법
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