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식각 또는 증착 공정을 진행하는 진공 용기에 직접 또는 간접적으로 연결된 주배기관, 상기 주배기관에서 갈라진 제1 보조 배기관 및 제2 보조 배기관을 포함하는 배기 라인;상기 주배기관에 장착되어 상기 진공 용기에서 제공되는 오염 가스에 회전력을 인가하는 헬리칼 배플;상기 제2 보조 배기관에 연결된 입자 포획부; 및상기 제1 보조 배기관에 연결되는 진공 펌프를 포함하고,상기 입자 포획부는 상기 헬리칼 배플에 의하여 공급된 오염 가스를 제공받아 입자를 포획하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항에 있어서,상기 입자 포획부는 상기 제2 보조 배기관을 개폐시키는 게이트 밸브를 포함하고, 상기 헬리컬 배플은 상기 주배기관의 내주면을 따라 회전하는 적어도 하나의 날개를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 헬리칼 배플에 오염 방지 가스를 주입하는 노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 주배기관과 상기 제2 보조 배기관은 직선으로 연결되어, 상기 오염 가스는 상기 입자 포획부에 제공되고, 상기 제1 보조 배기관은 상기 주배기관에서 갈라진 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제2 보조 배기관은 직경이 점진적으로 감소하는 테이퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 2 항에 있어서,상기 입자 포획부는:상기 제2 보조 배기관에 공급되는 오염 가스의 입자의 밀도를 감지하는 입자 감지부;상기 게이트 밸브의 후단에 연결되어 입자를 저장하는 입자 저장부; 상기 입자 저장부에 장착되어 입자들이 쌓인 높이를 감지하는 레벨 카운터; 및상기 입자 저장부의 일단에 배치어 퇴적된 입자들을 제거하기 위한 도어를 더 포함하고,상기 게이트 밸브는 상기 입자 감지부의 후단에 연결되어 상기 제2 보조 배기관을 개폐시키는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 진공 펌프는 저진공 펌프인 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 주배기관은 연속적으로 연결된 제1 직선부, 상기 제1 직선부의 진행 방향을 변경하는 곡선부, 및 상기 곡선부에 연결된 제2 직선부를 포함하고,상기 제2 보조 배기관은 상기 제2 직선부의 말단에 연결되고,상기 제1 보조 배기관은 상기 제2 직선부의 중심부에서 분기되는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 주배기관은 중심 라인 및 상기 중심 라인의 중심 부위에 갈라진 입력 라인을 포함하는 티(tee) 형상을 가지고,상기 진공 용기는 상기 입력 라인과 연결되고,상기 헬리칼 배플은 상기 중심 라인의 상기 중심 부위에 배치되고,상기 중심 라인의 일단은 상기 제1 배기 라인과 연결되고,상기 중심 라인의 타단은 상기 제2 배기 라인과 연결되고,상기 입력 라인을 통하여 공급된 오염 가스는 상기 헬리칼 배플에 의하여 제2 보조 배기관 방향으로 공급되고, 상기 보조 제2 배기관에서 다시 회귀하는 가스는 상기 제1 보조 배기관을 통하여 배기되는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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식각 또는 증착 공정을 진행하는 진공 용기에 직접 또는 간접적으로 연결된 주배기관;상기 주배기관에 연결되는 외부 배기관;상기 외부 배기관의 내부에 배치된 내부 배기관;상기 주배기관에 장착되어 상기 진공 용기에서 제공되는 오염 가스에 회전력을 인가하는 헬리칼 배플; 및상기 외부 배기관에 연결된 입자 포획부를 포함하고,상기 내부 배기관은 진공 펌프에 연결되고,상기 입자 포획부는 상기 헬리칼 배플에 의하여 공급된 오염 가스를 제공받아 입자를 포획하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 10 항에 있어서,상기 입자 포획부는 상기 외부 배기관을 개폐시키는 게이트 밸브를 포함하고,상기 주배기관과 상기 외부 배기관 사이에 개재되고 상기 외부 배기관 방향으로 점차적으로 지름이 증가하는 테이퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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제 11 항에 있어서,상기 입자 포획부는:상기 외부 배기관에 공급되는 오염 가스의 입자의 밀도를 감지하는 입자 감지부;상기 게이트 밸브의 후단에 연결되어 입자를 저장하는 입자 저장부; 상기 입자 저장부에 장착되어 입자들이 쌓인 높이를 감지하는 레벨 카운터; 및상기 입자 저장부의 일단에 배치어 퇴적된 입자들을 제거하기 위한 도어를 더 포함하고,상기 게이트 밸브는 상기 입자 감지부의 후단에 연결되어 상기 외부 배기관을 개폐시키는 것을 특징으로 하는 입자 포획 장치
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