| 요약 |
본 발명은 유기박막 내 작용기의 정량방법에 관한 것으로, 상세하게 a) 중에너지이온산란분광법(MEIS; Medium Energy Ion Scattering spectroscopy)을 이용하여 기준 유기박막 내에 포함된 작용기를 갖는 분석기준물질의 단위면적당 절대량의 측정단계;b) 상기 a)단계와 동일한 기준 유기박막에 대하여 분광분석기를 이용하여 측정한 후 상기 기준 유기박막에 포함된 작용기 피크의 세기를 얻는 단계;c) 상기 a)단계의 분석기준물질에 포함된 작용기와 동일한 작용기를 포함하는 분석대상 유기박막을 상기 b)단계에서 사용된 동일한 분광분석기로 미지량의 작용기 피크의 세기를 측정하는 단계; 및 d) 상기 a)단계의 분석기준물질의 절대량을 기준으로 b)단계에서 측정된 작용기 피크의 세기와 비교하여 측정된 결과로부터 상기 c)단계에서 측정된 분석대상 유기박막에 포함된 미지량의 작용기의 단위면적당 절대량을 구하는 단계;를 포함하여 유기박막의 절대 밀도, 유기 박막 내의 각 작용기 절대 밀도가 측정이 된 시료는 유기 박막의 절대 정량에 사용될 수 있는 표준물질(Certified Reference Material, CRM)로 이용가능한 유기박막 내 작용기의 정량방법에 관한 것이다. 중에너지이온산란분광법, 보정계수(Calibration Factor), 유기박막, 정량, 작용기, x-선광전자분광기, 퓨리에변환된적외선분광기, 비행시간이차이온질량분석기, Ru 535 bis-TBA, 스핀코팅
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