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스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부;상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM); 및상기 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 샘플 상면에 전달하고 상기 샘플에 삽입 가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM)을 포함하고,상기 평행빔의 초점 평면을 상기 공통 상면에 배치되도록 상기 어댑터 렌즈 모듈과 상기 스캐닝부 사이에 배치되는 구경 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 스캐닝부는 서로 다른 파장의 펌프 빔과 스톡스 빔을 스캐닝하고, 상기 샘플의 집속된 점은 간섭성 엔티-스톡스 라만 산란 신호(Coherent Anti-Stokes Raman Scattering Signal; CARS signal)를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제2 항에 있어서,상기 펌프 빔의 파장은 817 nm이고, 상기 스톡스 빔의 파장은 1064 nm 인 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제2 항에 있어서,상기 스캐닝부와 상기 프로브 렌즈 모듈 사이의 광 경로에 배치되고, 상기 프로브 렌즈 모듈 및 상기 어댑터 렌즈 모듈을 통과한 상기 간섭성 엔티-스톡스 라만 산란 신호를 선택적으로 반사하는 이색성 거울(dichroic mirror); 및상기 이색성 거울을 통하여 선택적으로 반사된 상기 간섭성 엔티-스톡스 라만 산란 신호를 검출하는 검출기; 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 프로브 렌즈 모듈의 길이는 25 mm 이상이고, 상기 프로브 렌즈 모듈의 광학구경(Clear Aperture)의 직경은 2
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제1 항에 있어서,상기 프로브 렌즈 모듈의 상기 샘플 측의 수치구경(numerical aperture)은 물 잠김(water immersion)을 고려하여 0
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제1 항에 있어서,상기 프로브 렌즈 모듈의 물체 측의 수치구경(numerical aperture)은 0
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스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부;상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM); 및상기 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 샘플 상면에 전달하고 상기 샘플에 삽입 가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM)을 포함하고,상기 프로브 렌즈 모듈의 렌즈의 개수는 적어도 8매이고, 구면 및 평면으로 구성된 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 샘플 측 시야는 0
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스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부;상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM); 및상기 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 샘플 상면에 전달하고 상기 샘플에 삽입 가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM)을 포함하고,상기 평행빔의 초점 평면을 상기 공통 상면에 배치되도록 상기 어댑터 렌즈 모듈과 상기 스캐닝부 사이에 배치되는 구경 조리개를 더 포함하고,상기 프로브 렌즈 모듈은 글래어 스톱을 포함하고,상기 프로브 렌즈 모듈과 상기 어댑터 렌즈 모듈은 다음의 조건을 충족하고,여기서, S는 공통 상면과 상기 글래어 스톱 사이의 거리이고,fa는 상기 어댑터 렌즈 모듈의 유효 초점 거리이고,D는 구경 조리개의 직경이고,NAO는 상기 프로브 렌즈 모듈의 물체 측 수치구경이고, 및η는 공통 상면 높이인 것을 특징으로 하는 광학 장치
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어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하는 광학 장치에 있어서,상기 어댑터 렌즈 모듈은 스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부와 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 전달하고 상기 샘플에 삽입가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM) 사이에 배치되고, 상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 상기 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하고,상기 평행빔의 초 점 평면을 상기 공통 상면에 배치되도록 상기 어댑터 렌지 모듈과 상기 스캐닝부 사이에 배치되는 구경 조리개를 더 포함하고,상기 구경 조리개의 중심을 통과한 주광선(principal ray)은 상기 어댑터 렌즈 모듈에서 굴절되어, 상기 어댑터 렌즈 모듈의 광축에 소정의 각도를 유지하면서 상기 공통 상면에 입사하는 것을 특징 으로 하는 광학 장치
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어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하는 광학 장치에 있어서,상기 어댑터 렌즈 모듈은 스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부와 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 전달하고 상기 샘플에 삽입가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM) 사이에 배치되고, 상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 상기 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하고,상기 프로브 렌즈 모듈은 글래어 스톱을 포함하고,상기 프로브 렌즈 모듈과 상기 어댑터 렌즈 모듈은 다음의 조 건을 충족하고,여기서, S는 공통 상면과 상기 글래어 스톱 사이의 거리이고,fa는 상기 어댑터 렌즈 모듈의 유효 초점 거리이고,D는 구경 조리개의 직경이고,NAO는 상기 프로브 렌즈 모듈의 물체 측 수치구경이고, 및η는 공통 상면 높이인 것을 특징으로 하는 광학 장치
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어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하는 광학 장치에 있어서,상기 어댑터 렌즈 모듈은 스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부와 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 전달하고 상기 샘플에 삽입가능한 프로브 렌즈 모듈(Probe Lens Module;PLM) 사이에 배치되고, 상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 상기 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 포함하고,상기 어댑터 렌즈 모듈(ALM)은 적어도 8 매의 렌즈를 포함하고, 상기 렌즈는 평면 또는 구면으로 형성된 것을 특징으로 하는 광학 장치
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프로브 렌즈 모듈(PLM)을 포함하는 광학 장치에 있어서,스캐닝하는 평행빔을 제공하는 스캐닝부와 상기 평행빔이 공통 상면(intermediate image plane; IIP)에 초점 궤적들을 형성하도록 제공하는 어댑터 렌즈 모듈(ALM)을 통하여 제공되는 상기 초점 궤적들을 샘플에 집속하여 샘플 상면에 전달하고 상기 샘플에 삽입 가능하고,상기 프로브 렌즈 모듈의 길이 는 25 mm 이상이고, 상기 프로브 렌즈 모듈의 광학구경(Clear Aperture)의 직경은 2
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