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컬렉터(Collector), 캐소드(Cathode) 및 전해질(Electrolyte)을 포함하여 구성된 리튬 2차 박막 전지에 있어서, 상기 컬렉터가 화학 기상 증착법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 1 항에 있어서, 상기 캐소드가 화학 기상 증착법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 1 항에 있어서, 상기 전해질이 스퍼터링(sputtering), 펄스 레이저 증착법(pulsed laser deposition) 또는 화학 기상 증착법 중 어느 한가지 방법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 1 항에 있어서, 상기 캐소드는 화학 기상 증착법에 의해 형성되고, 상기 전해질은 스퍼터링, 펄스 레이저 증착법 또는 화학 기상 증착법 중 어느 한가지 방법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 화학 기상 증착법에 의해 형성된 컬렉터는 백금(Pt)이 포함된 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 5 항에 있어서, 상기 백금(Pt)은, 에틸사이클로펜타디에닐 트리메틸 백금((CH3)3(C2H5C5H4)Pt)이 산소(O2)와 함께 반응함으로써 증착/형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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7
제 6 항에 있어서, 상기 화학 기상 증착법에 의해 형성된 캐소드는 LiCoO2, LiMnO2, LiNiO2, 및 V2O2 의 물질 가운데 어느 한가지를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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8
제 7 항에 있어서, 상기 캐소드의 형성을 위한 화학 기상 증착법은 유기 금속 전구체를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 8 항에 있어서, 상기 유기 금속 전구체는, 리튬 또는 코발트의 전구체로서 TMHD(C11H19O2) 계열을 포함한 유기금속 전구체이되, 산소와 함께 반응함으로써 증착/형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 9 항에 있어서, 상기 백금 재질의 컬렉터 및 LiMO2 (M = Co, Mn, Ni) 재질의 캐소드를 화학 기상 증착법으로 형성함에 있어, 증착 온도는 250 ~ 550℃, 증착 압력은 0
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11
제 10 항에 있어서, 상기 전해질은, LLTO((La2/3-xLi3x)TiO3)를 사용하여 이루어진 고체 전해질인 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 11 항에 있어서, 상기 전해질의 형성을 위한 화학 기상 증착법은 유기 금속 전구체를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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제 12 항에 있어서, 상기 유기 금속 전구체는, 란탄 또는 리튬의 전구체로서 TMHD(C11H19O2) 계열을 포함한 유기금속 전구체이되, 산소와 함께 반응함으로써 증착/형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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13
제 12 항에 있어서, 상기 유기 금속 전구체는, 란탄 또는 리튬의 전구체로서 TMHD(C11H19O2) 계열을 포함한 유기금속 전구체이되, 산소와 함께 반응함으로써 증착/형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지
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