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AlN 기판 상에 증착된 Ti(N) 박막저항체를 이용한 감쇠기

  • 기술번호 : KST2015180521
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제4세대 이동통신에 활용되는 감쇠기(attenuator)를 위한 박막저항체에 관한 것으로, AlN(Aluminum nitride) 기판 상에 형성된 Ti(N) 박막으로 이루어진 박막저항체에 관한 것이다. 본 발명의 박막저항체는 면저항과 같은 전기적 특성과 주파수 및 L/W 변화에 따른 감쇠(attenuation) 및 VSWR(voltage standing wave ratio)의 변화 특성이 우수하여 6 GHz의 고주파 영역까지 활용 가능한 특성을 갖는다. 물리증착, Ti(N), AlN 기판, 20dB 및 25W 급 박막저항체. attenuator.
Int. CL H01C 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070064063 (2007.06.28)
출원인 충남대학교산학협력단, (주) 케이엠씨 테크놀러지
등록번호/일자 10-0950020-0000 (2010.03.22)
공개번호/일자 10-2009-0002348 (2009.01.09) 문서열기
공고번호/일자 (20100329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 (주) 케이엠씨 테크놀러지 대한민국 대전광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤순길 대한민국 대전 서구
2 웬지긍 베트남 대전 유성구
3 김동진 대한민국 부산 남구
4 류제천 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0471276-42
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.23 수리 (Accepted) 4-1-2008-5063922-46
3 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)
2008.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2008-0012406-53
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0519210-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2008-0838715-82
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.12.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0838714-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2009-5014069-12
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0116664-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.03.18 수리 (Accepted) 4-1-2009-5050645-34
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0291056-17
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0291058-08
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0393716-48
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0700451-11
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0700455-04
16 등록결정서
Decision to grant
2010.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0102064-55
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.05.31 수리 (Accepted) 4-1-2011-5108981-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5059038-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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2 2
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3 3
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4 4
삭제
5 5
저항의 조합으로 이루어진 감쇠기에 있어서, 상기 저항으로 AlN 기판; AlN 기판 상에 형성된 Ti(N)의 비정질 계면층; 및 계면층 위에 형성된 20~100nm 두께의 결정성 Ti(N)의 박막; 을 포함하여 구성된 박막저항체를 이용하여 구성한 감쇠기
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 감쇠기의 용량은 20dB 내지 30dB에서 25W 급인 것을 특징으로 하는 감쇠기
지정국 정보가 없습니다
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1 US07936248 US 미국 FAMILY
2 US20090002123 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2009002123 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7936248 US 미국 DOCDBFAMILY
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