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진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015180544
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분말 야금법에 의한 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟 제조 방법에 있어서 소결단계가 A) 종위 위에 접착제층을 형성하는 단계; B) 상기 접착제 층에 세터 분말을 뿌려 세터 분말층을 형성하는 단계; C) 상기 B) 단계에서 접착체에 접착되지 않은 과량의 세터 분말을 제거하는 단계; 및 D) 기판 위에 세터 분말 층이 위로 향하도록 세터 분말이 도포된 종이를 놓고 그 위에 성형체를 위치시킨 후 소성로에서 소결하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명으로 제조된 타겟은 휨이 거의 없으며 그에 따라 정해진 규격을 맞추기 위한 후공정인 내,외경 연삭의 량과 시간을 절약하여 코스트를 줄일 수 있을 뿐 아니라, 연삭으로 인한 폐기물의 배출량을 줄여 환경적인 측면에도 이점이 있다. 소결, 세라믹 타겟, 금속 타겟, 분말 야금
Int. CL B22F 3/00 (2006.01) C23C 16/34 (2006.01)
CPC C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01)
출원번호/일자 1020070111918 (2007.11.05)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0946312-0000 (2010.03.02)
공개번호/일자 10-2009-0046017 (2009.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20100308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤순길 대한민국 대전 서구
2 이수진 대한민국 충남 논산시
3 안준구 대한민국 대전 서구
4 허성기 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0791927-84
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.23 수리 (Accepted) 4-1-2008-5063922-46
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0073663-72
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2009-5014069-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.03.18 수리 (Accepted) 4-1-2009-5050645-34
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0384513-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0571696-07
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0571677-39
10 등록결정서
Decision to grant
2010.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0013529-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.05.31 수리 (Accepted) 4-1-2011-5108981-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 금속 또는 세라믹 분말 제조 단계; 2) 상기 금속 또는 세라믹 분말의 압축·성형에 의한 성형체를 제조 단계; 3) 상기 성형체의 소결 단계; 및 4) 소결된 성형체의 이차 가공단계;로 이루어진 분말야금법에 의한 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법에 있어서, 상기 소결단계가, A) 종이 위에 접착제층을 형성하는 단계; B) 상기 접착제 층에 세터 분말을 뿌려 세터 분말층을 형성하는 단계; C) 상기 B) 단계에서 접착체에 접착되지 않은 과량의 세터 분말을 제거하는 단계; 및 D) 기판 위에 세터 분말 층이 위로 향하도록 세터 분말이 도포된 종이를 놓고 그 위에 성형체를 위치시킨 후 소성로에서 소결하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 (D) 단계에서 성형체의 종이와 맞닿는 면에 접착제 층을 추가로 형성하여 성형체를 위치시킨 후 소결하는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 세터 분말은 상기 성형체와 동일한 재질의 분말인 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 세터 분말은 10~100㎛ 크기인 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 D)단계에서 성형체의 상부에 기판을 추가로 올려 놓고 소결하는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.