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ＡＺＯ/Ａｇ/ＡＺＯ 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법

기술번호 : KST2015180603
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 비저항이 낮고 광 투과도가 우수한 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법 및 그 방법에 의해 형성된 투명전도막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (A) Al이 도핑된 ZnO를 타겟으로 하여 스퍼터링법으로 기판에 1차 AZO 박막을 형성하는 단계; (B) 상기 1차 박막 위에 스퍼터링법으로 Ag를 증착하는 단계; (C) 상기 Ag 박막 위에 Al이 도핑된 ZnO를 타겟으로 하여 스퍼터링법으로 2차AZO 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법 및 그 방법에 의해 형성된 투명전도막에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 비저항이 10-5 Ω-cm 이하이고, 광 투과도가 85% 이상인 특성을 나타내며, damp heat treatment 및 bending 스트레스에 안정성을 보이는 투명전도막을 제작할 수 있게 된다. 또한, 안정한 접착력을 나타내는 유연성 기판의 투명전도막을 경제적으로 제조할 수 있게 되어 평판 디스플레이 장치, 태양전지, 투명 터치패널 등 다양한 전자기기 소재로 활용할 수 있게 된다. 투명전도막, AZO/Ag/AZO, 다층박막, 스퍼터링, 유연성 기판, 비저항, 투과도
Int. CL	C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) H01L 21/203 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01)
CPC	C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01)
출원번호/일자	1020090009167 (2009.02.05)
출원인	충남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2010-0089962 (2010.08.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2009.02.05)
심사청구항수	9

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	충남대학교산학협력단	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	윤순길	대한민국	대전 서구
2	조현진	대한민국	대전 서구
3	박경우	대한민국	대전 중구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김원준	대한민국	대전광역시 서구 둔산대로*번길 , 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2009.02.05	수리 (Accepted)	1-1-2009-0071260-10
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2009.03.18	수리 (Accepted)	4-1-2009-5050645-34
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2010.01.08	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2010.02.11	수리 (Accepted)	9-1-2010-0009700-98
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2011.03.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0117536-89
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.05.31	수리 (Accepted)	4-1-2011-5108981-12
7	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2011.06.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0300489-79
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.12.26	수리 (Accepted)	4-1-2013-5174286-48
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.09.01	수리 (Accepted)	4-1-2015-5116889-90
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.09.01	수리 (Accepted)	4-1-2015-5116888-44

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법으로서, (A) Al이 도핑된 ZnO를 타겟으로 하여 스퍼터링법으로 기판에 1차 AZO 박막을 형성하는 단계; (B) 상기 1차 박막위에 스퍼터링법으로 Ag를 증착하는 단계; (C) 상기 Ag 박막위에 Al이 도핑된 ZnO를 타겟으로 하여 스퍼터링법으로 2차AZO 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 Ag의 증착두께는 5~15 nm인 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
3	3 제 2 항에 있어서, 상기 Ag의 증착두께는 7~11 nm인 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
4	4 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 1차 AZO 박막 및 2차 AZO 박막의 두께는 각각 10~100 nm인 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
5	5 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판은 유리기판, quartz 기판 또는 유연성 폴리머 기판인 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
6	6 제 5 항에 있어서, 상기 유연성 폴리머 기판은 폴리에테르술폰, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 또는 폴리에틸렌나프탈레이트 재질인 것을 특징으로 하는 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막의 제조방법
7	7 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 의한 방법에 의해 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막
8	8 제 5 항에 의한 방법에 의해 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막
9	9 제 6 항에 의한 방법에 의해 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막이 코팅된 투명전도막

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US20100193351	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2010193351	US	미국	DOCDBFAMILY

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2009.02.05	수리 (Accepted)	1-1-2009-0071260-10
2	출원인정보변경(경정)신고서	2009.03.18	수리 (Accepted)	4-1-2009-5050645-34
3	선행기술조사의뢰서	2010.01.08	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2010.02.11	수리 (Accepted)	9-1-2010-0009700-98
5	의견제출통지서	2011.03.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0117536-89
6	출원인정보변경(경정)신고서	2011.05.31	수리 (Accepted)	4-1-2011-5108981-12
7	거절결정서	2011.06.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0300489-79
8	출원인정보변경(경정)신고서	2013.12.26	수리 (Accepted)	4-1-2013-5174286-48
9	출원인정보변경(경정)신고서	2015.09.01	수리 (Accepted)	4-1-2015-5116889-90
10	출원인정보변경(경정)신고서	2015.09.01	수리 (Accepted)	4-1-2015-5116888-44


과제고유번호	1345100059
세부과제번호	2007-0056852
연구과제명	유연전자소자및임베디드소자응용을위한신공정기술을통한저온산화물박막형성기술
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	동의대학교
성과제출연도	2009
연구기간	200709~201008
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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