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전이금속 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015180820
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 전이금속 박막의 제조방법은 지지체에 전이금속 전구체를 비가역적으로 흡착시키는 단계와, 상기 전이금속 전구체를 환원함으로써 상기 지지체의 적어도 일부의 표면이 환원된 전이금속을 포함하도록 하는 단계와, 이후 과정으로서 일산화탄소를 상기 지지체의 표면보다 상기 지지체내 환원된 전이금속의 표면에 더 높은 농도로 흡착시키는 단계와, 상기 일산화탄소가 흡착된 전이금속을 포함하는 지지체에 전이금속 전구체를 비가역적으로 2차 흡착시킴으로써, 전이금속 전구체가 지지체내 일산화탄소가 흡착된 전이금속의 표면보다 지지체의 표면상으로 흡착되도록 하는 단계와, 상기 지지체의 표면에 흡착된 전이금속 전구체를 환원시키는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.본 발명에 의한 전이금속 박막의 제조방법은 보다 균일한 전이금속 박막층을 형성할 수 있으며, 또한 전이금속 박막을 형성하기 위한 전이금속 전구체의 함량을 줄일 수 있는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01)
출원번호/일자 1020120073138 (2012.07.05)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0006385 (2014.01.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.05)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이충균 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0537250-54
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0595937-50
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.31 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0053182-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0904591-08
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0203470-72
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0268207-37
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0268210-75
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0471831-61
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 지지체에 전이금속 전구체를 비가역적으로 흡착시키는 단계;2) 상기 전이금속 전구체를 환원하여 상기 지지체의 적어도 일부의 표면이 환원된 전이금속을 포함하도록 상기 지지체내 전이금속 전구체를 환원하는 단계;3) 일산화탄소를 상기 지지체의 표면보다 상기 지지체내 환원된 전이금속의 표면에 더 높은 농도로 흡착시키는 단계; 4) 상기 일산화탄소가 흡착된 전이금속을 포함하는 지지체에 전이금속 전구체를 비가역적으로 2차 흡착시킴으로써, 전이금속 전구체가 지지체내 일산화탄소가 흡착된 전이금속의 표면보다 지지체의 표면상으로 흡착되도록 하는 단계; 및5) 상기 지지체의 표면에 흡착된 전이금속 전구체를 환원시키는 단계;를 포함하는 전이금속 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 지지체는 전이금속, 세라믹, 실리카, 실리콘 기판, 알루미나, 카본 및 코어-쉘 형태의 나노입자로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
3 3
제2항에 있어서,상기 지지체는 금, 은 및 구리로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 전이금속은 백금, 팔라듐, 로듐 및 이리듐로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상의 귀금속인 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 3) 내지 5)단계를 2 내지 7회 중에서 선택된 어느 하나의 횟수만큼 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 일산화탄소를 상기 지지체의 표면보다 상기 지지체내 환원된 전이금속의 표면에 더 높은 농도로 흡착시키는 단계는 지지체에 일산화탄소가 흡착되는 정도보다 전이금속에 일산화탄소가 흡착되는 정도가 더 강한 전이금속을 선택함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 지지체에 전이금속 전구체를 비가역적으로 흡착시키는 방법은 0
8 8
제1항에 있어서,상기 지지체에 전이금속 전구체를 환원하는 단계는 전기화학적 환원을 이용하는 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막의 제조방법
9 9
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법에 의해 얻어지는, 전이금속 박막을 포함하는 지지체
10 10
제9항에 있어서,상기 전이금속 박막의 두께는 2개 또는 3개의 원자층을 포함하는 초박막(ultra-thin film)의 형태인 것을 특징으로 하는, 전이금속 박막을 포함하는 지지체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.