| 1 |
1
열화학기상증착법에 의한 탄소 나노튜브 합성방법에 있어서, 자성유체를 이용해 촉매금속을 제조하는 단계(S1); 제조된 촉매금속을 기판(22)에 도포하는 단계(S2); 및 탄소 나노튜브를 합성하는 단계(S3)를 구비하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 S1단계는 촉매금속에 바인더를 투입하는 단계(S4)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 자성유체는 염화철로부터 제조된 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 S1단계는 염화철(Ⅱ), 염화철(Ⅲ) 및 증류수로 염화철 수용액(13)을 제조하는 단계(S1-1); 가열 및 교반하는 단계(S1-2); 수산화암모늄을 염화철 수용액(13)에 투입하여 산화철(Fe3O4) 입자를 생성하는 단계(S1-3); 계면 활성제를 염화철 수용액(13)에 투입하는 단계(S1-4); 물과 아세톤을 염화철 수용액(13)에 첨가하여 산화철 입자와 액체를 분리하는 단계(S1-5); 및 산화철 입자, 증류수 및 바인더로 촉매 금속 용액을 제조하는 단계(S1-6)를 구비하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 S1-1단계 및 S1-3단계는 원하는 크기의 산화철(Fe3O4) 입자를 얻기 위해 염화철과 수산화암모늄의 양을 조절하는 단계(S5)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 산화철(Fe3O4) 입자의 직경은 10nm ~ 100nm인 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 7 |
7
제 4 항에 있어서, 상기 S1-4단계는 계면 활성제로 지방산을 이용하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 지방산은 CH3(CH2)8CO2H 인 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 9 |
9
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 지방산의 투입은 투입 횟수를 분할하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 10 |
10
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 S2단계는 촉매금속을 기판(22)에 주사하여 도포하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 11 |
11
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 S2단계는 기판(22)을 촉매금속용액에 장입하여 도포하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 12 |
12
제 10 항에 있어서, 상기 도포는 회전기에 의해 회전 도포하는 단계(S6)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 13 |
13
제 11 항에 있어서, 상기 도포는 회전기에 의해 회전 도포하는 단계(S6)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 S6단계는 회전 속도가 100rpm ~ 5000rpm인 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 15 |
15
제 2 항 또는 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 바인더는 세라믹 바인더이고 바인더의 양은 0
|
| 16 |
16
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 S3단계는 촉매금속이 도포된 기판(22)을 가열기구내에 장입하고 소오스 가스를 주입하여 기판(22)위에 탄소 나노튜브를 합성하는 단계(S3-1)로 구성된 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 17 |
17
제 16 항에 있어서, 상기 소오스 가스는 아세틸렌, 암모니아 및 수소로 구성된 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 18 |
18
제 16 항에 있어서, 상기 탄소 나노 튜브는 촉매금속이 도포된 기판(22)을 가열기구내에 장입한 후 800℃~900℃의 온도 분위기에서 합성되는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 19 |
19
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 S2단계 및 S3단계는 배치공정에 의해 기판(22)을 도포하는 단계(S7) 및 상기 기판은 연속하여 가열기구내로 장입하는 단계(S8)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 20 |
20
제 19 항에 있어서, 상기 S8단계는 상기 기판(22)이 장입되기 전에 가열기구내의 온도 분위기를 탄소 나노튜브가 합성되는 온도 분위기로 하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
| 21 |
20
제 19 항에 있어서, 상기 S8단계는 상기 기판(22)이 장입되기 전에 가열기구내의 온도 분위기를 탄소 나노튜브가 합성되는 온도 분위기로 하는 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법
|
