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암모니아를 선택적으로 흡착하여 제거하는 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법에 있어서,a) 용융조에서 용융된 고온의 용융수지가 펌프를 통해 노즐로 이송되는 단계;b) 일정 속도로 진행하는 제1이온교환부직포의 상면에 고온의 압축공기 및 상기 고온의 용융수지가 상기 노즐을 통해 분사되는 단계;c) 비드상 이온교환수지가 상기 고온의 용융수지가 도포된 제1이온교환부직포의 상면에 도포되어 부착되는 단계;d) 상기 제1이온교환부직포의 고온의 용융수지 및 비드상 이온교환수지가 도포된 면에 제2이온교환부직포가 덮이는 단계;e) 압착롤러에 의해 상기 제1이온교환부직포, 상기 고온의 용융수지 및 비드상 이온교환수지 및 제2이온교환부직포가 압착되어 서로 부착되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법
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제 1항에 있어서,고온의 용융수지 및 비드상 이온교환수지의 레이어가 적어도 1개 이상 형성되도록 상기 b) 단계 내지 d) 단계를 적어도 1번 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 고온의 용융수지의 온도는 140℃ 내지 200℃의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 고온의 용융수지의 분사압력은 30psi 내지 70psi의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 및 제2이온교환부직포의 이동 속도는 4cm/s 내지 40cm/s의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 방법
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암모니아를 선택적으로 흡착하여 제거하는 클린룸용 복합화학필터의 제조 장치에 있어서,제1이온교환부직포(1000)를 이송 방향으로 이송시키기 위하여 장착되는 컨베이어벨트(1);상기 컨베이어벨트(1)를 이송 방향으로 구동하는 벨트구동모터(3);상기 컨베이어벨트(1)의 일측 상면에 구비되며 고온의 용융수지를 수용하고, 상기 컨베이어벨트(1) 상면에 놓여 이송되는 제1이온교환부직포(1000)의 상면에 고온의 용융수지를 균일하게 도포하는 노즐(5)을 구비하는 용융수지 저장용기(4);상기 용융수지 저장용기(4)에 대하여 상기 컨베이어벨트(1)의 이송 방향 후측 상면에 구비되며 비드상 이온교환수지를 수용하고, 상기 제1이온교환부직포(1000)의 상면에 비드상 이온교환수지를 균일하게 도포하는 입자균일 도포장치(7);상기 입자균일 도포장치(7)에 대하여 상기 컨베이어벨트(1)의 이송 방향 후측 상면에 구비되며, 상기 이온교환부직포(1000)의 상면에 제2이온교환부직포(2000)를 덮어 압착하는 압착 롤러(8); 및상기 제조 장치의 각 부분들의 구동을 제어하는 제어부(9);를 포함하여 이루어지고, 제 1항 내지 제 5항 중 어느 하나의 항에 의한 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 장치
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제 6항에 있어서,상기 컨베이어벨트(1)에는 속도 및 장력을 조절하는 벨트장력 조정장치(2)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 장치
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제 7항에 있어서,상기 노즐(5)에는 압축공기 분사기(6)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스 제거를 위한 클린룸용 복합화학필터의 제조 장치
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