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화염을 이용한 기상반응으로 실리카 초미분체를 제조하는 방법에 있어서, 초미분체의 원료물질을 실리콘 알콕사이드로 하고 상기 실리콘 알콕사이드를 증기화하여 알곤과 더불어 확산형 버너로 유입하되 확산형버너에는 알곤, 산소, 수소 및 공기를 동시에 유입시켜 1200℃ 이상으로 화염을 생성시키며 평균입자크기가 50나노미터 이하인 실리카 초미분체를 제조하는 것을 특징으로 하는 기상화학 반응에 의한 나노사이즈 실리카 초미분체 제조방법
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제1항에 있어서, 원료물질인 실리콘 알콕사이드는 Tetraethoxysilane(TEOS) 및 Tetramethoxysilane(TMOS)로하고, 확산형버너로 유입되는 상기의 실리콘 알콕사이드의 증기화된 초기 농도를 0
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제2항에 있어서, 확산형버너로 유입되는 가스의 조성 중 제2관(230)으로 유입되는 가스를 공기로 하는 것을 특징으로 하는 기상화학 반응에 의한 나노사이즈 실리카 초미분체 제조방법
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제2항에 있어서, 확산형버너로 유입되는 가스의 조성 중 제2관(230) 및 제4관(250)으로 유입되는 가스를 공기로 하는 것을 특징으로 하는 기상화학 반응에 의한 나노사이즈 실리카 초미분체 제조방법
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제2항내지 제4항의 어느 한항에 있어서, 확산형버너로 유입되는 가스의 유입량을 제1관(220)에서는 1(ℓ/min), 제2관(230)에서는 10(ℓ/min), 제3관(240)에서는 6(ℓ/min), 제4관(250)에서는 15(ℓ/min) 그리고 제5관(260)에서는 40(ℓ/min)으로 하는 것을 특징으로 하는 기상화학 반응에 의한 나노사이즈 초미분체 제조방법
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