1 |
1
2개의 포트를 통하여 유출입하는 기상 물질의 농도를 측정하는 기체 성분 검출기의 내부 경로의 부피를 측정하기 위한 장치로서,2개의 포트를 갖고 소정 기상 물질을 수용하는 기체 용기와,2개의 포트를 갖는 빈 용기와,상기 기체 성분 검출기, 기체 용기 및 빈 용기의 상기 포트들을 연결하는 파이프 라인과,상기 파이프 라인에 설치되는 밸브를 포함하고,상기 파이프 라인과 밸브는, 기체 성분 검출기가 기체 용기 및 빈 용기와 연결되지 않도록 하는 제1 루프와, 기체 성분 검출기가 기체 용기와는 연결되고 빈 용기와는 연결되지 않도록 하는 제2 루프와, 기체 성분 검출기가 기체 용기와는 연결되지 않고 빈 용기와는 연결되도록 하는 제3 루프를 구성하도록 배열 및 설치되어 상기 밸브가 상기 루프들 사이를 절환하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 기체 성분 검출기의 2개의 포트가 파이프 라인에 의해 기체 용기의 2개의 포트와 각각 연결되고, 상기 2개의 파이프 라인의 중간에 밸브가 각각 설치되고, 이들 밸브는 파이프 라인에 의해 서로 연결되고, 상기 밸브는 각각 4웨이 밸브인 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 기체 성분 검출기, 기체 용기, 빈 용기는 직렬로 하나의 폐루프를 이루도록 파이프 라인에 의해 서로 연결되고, 기체 용기의 2개의 포트 부근의 파이프 라인에 밸브가 각각 설치되고 이들 밸브는 파이프 라인에 의해 서로 연결되고, 빈 용기의 2개의 포트 부근의 파이프 라인에 밸브가 각각 설치되고 이들 밸브는 파이프 라인에 의해 서로 연결되고, 상기 밸브들은 3웨이 밸브인 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
4 |
4
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체 성분 검출기는 펌프가 내장된 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
5 |
5
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체 성분 검출기에 인접하게 설치된 건조관을 추가로 포함하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
6 |
6
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체 용기의 각각의 포트에는 개폐 밸브가 구비된 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치
|
7 |
7
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 따른 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 장치를 구비하는 단계와,기체 용기에 소정 기상 물질을 수용하는 단계와,상기 제2 루프를 구성하고 소정 시간을 유지하는 단계와,상기 제1 루프를 구성하고 소정 시간을 유지한 후 상기 기체 성분 검출기로 상기 제1 루프 내의 기상 물질 농도를 측정하는 단계와,상기 제3 루프를 구성하고 소정 시간을 유지한 후 상기 기체 성분 검출기로 상기 제3 루프 내의 기상 물질 농도를 측정하는 단계와,제1 및 제3 루프 내의 기상 물질 농도 및 이들 루프의 내부 부피와, 루프 내의 기상 성분의 물질 수지에 기초하여 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피를 측정하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 방법
|
8 |
8
청구항 7에 있어서, 상기 제2 루프를 구성하는 단계 이전에, 상기 제1 루프를 추가로 구성하고 상기 기체 성분 검출기로 상기 제1 루프 내의 기상 물질의 바탕 농도를 측정하는 단계를 추가로 포함하고, 상기 제2 루프를 구성하는 단계 이후의 제1 및 제2 루프에서 상기 기체 성분 검출기로 검출한 기상 물질 농도는 상기 바탕 농도를 제함으로써 보정하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 방법
|
9 |
9
청구항 7에 있어서, 기체 용기에는 상기 기상 물질이 발생되는 고상 물질을 수용하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 방법
|
10 |
10
청구항 7에 있어서, 상기 기상 물질은 라돈 또는 휘발성 유기물(volatile organic compound: VOC)을 포함하는 기체 성분 검출기의 내부 경로 부피 측정 방법
|