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나노 정보소자 및 그 제조방법

기술번호 : KST2015182109
담당센터 : 서울서부기술혁신센터
전화번호 : 02-6124-6930

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 나노미터 영역 정보소자 구조 및 제작 공정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 콩깍지 모양으로 나노미터 영역의 갭을 가지는 나노튜브(Carbon Nanopeapod)를 이용하여 내부에 들어있는 플러렌(Fullerene) 및 엔도-플러렌(Endo-Fullerene)들의 위치를 외부 전계(external electric field)에 의하여 조절함으로써 플러렌 및 엔도-플러렌의 위치에 따라서 전기전자 정보저장소자로 활용할 수 있도록 하는 공정 방법 및 그에 따른 나노정보저장소자 및 나노스위칭소자 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 특히 기판위에 콩깍지 모양 나노튜브를 일정하게 배열하고, 이후 연속적으로 이어지는 몇 차례의 마스킹, 리소그래피, 증착 및 에칭 공정들을 통하여 플러렌 또는 작은 나노튜브가 두 나노튜브 사이를 왕복하는 구조로 제작함으로써 나노영역에서 전기전자 정보저장소자로 뿐만 아니라 스위칭 소자로도 사용될 수 있게 하는 구조를 가지는 것이다. 또한 콩깍지 모양 나노튜브를 그 자체로 활용하여 나노전기전자소자로 이용하기보다는 콩깍지 모양 나노튜브에 기술적 적용을 통하여 변형된 형태로 이용하도록 하는 효과가 있다.
Int. CL	H01L 27/04 (2006.01.01) B82Y 10/00 (2017.01.01) C01B 32/152 (2017.01.01) C01B 32/158 (2017.01.01)
CPC	H01L 27/04(2013.01) H01L 27/04(2013.01) H01L 27/04(2013.01) H01L 27/04(2013.01) H01L 27/04(2013.01)
출원번호/일자	1020040048305 (2004.06.25)
출원인	중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-0654386-0000 (2006.11.29)
공개번호/일자	10-2005-0122683 (2005.12.29) 문서열기
공고번호/일자	(20061205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2004.06.25)
심사청구항수	6

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	중앙대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 동작구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	황호정	대한민국	경기도 안양시 동안구
2	강정원	대한민국	서울 서대문구
3	변기량	대한민국	서울특별시 송파구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	신관호	대한민국	서울특별시 서초구 서운로 , **호 (서초동, 서초월드오피스텔)(신관호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	(주) 아이스퀘어		경기도 안성시 대덕면

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.06.25	수리 (Accepted)	1-1-2004-0278132-45
2	전자문서첨부서류제출서 Submission of Attachment to Electronic Document	2004.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2004-5096772-60
3	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.03.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0145890-65
4	지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period	2006.05.12	수리 (Accepted)	1-1-2006-0332849-98
5	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.06.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0417084-93
6	의견서 Written Opinion	2006.06.14	수리 (Accepted)	1-1-2006-0416973-99
7	등록결정서 Decision to grant	2006.09.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0564927-27
8	출원인변경신고서 Applicant change Notification	2006.11.10	수리 (Accepted)	1-1-2006-0824714-95
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2006.11.10	수리 (Accepted)	4-1-2006-5161622-51
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2006.11.10	수리 (Accepted)	4-1-2006-5161617-22
11	대리인선임신고서 Notification of assignment of agent	2006.11.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0886292-50
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.07.20	수리 (Accepted)	4-1-2011-5148879-89
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.07.20	수리 (Accepted)	4-1-2011-5148883-62
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.01.03	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000494-54
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.10.20	수리 (Accepted)	4-1-2014-5123944-33
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.07.04	수리 (Accepted)	4-1-2018-5125629-51
17	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.07.29	수리 (Accepted)	4-1-2019-5151122-15
18	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.01	수리 (Accepted)	4-1-2019-5153932-16

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 나노 정보소자에 있어서,기판과,상기 기판 위에 형성되고, 복수의 플러렌들이 채워져 있는 제 1 나노튜브와,상기 제 1 나노튜브와 소정 간격의 갭(gap)을 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 형성되고, 플러렌이 채워져 있지 않은 제 2 나노튜브와,상기 제 1 및 제 2 나노튜브 사이를 플러렌이 왕복하도록 외부 전계를 가하기 위해 상기 제 1 및 제 2 나노튜브 양측에 형성되어 있는 전극과,상기 나노튜브들을 고정하도록 상기 전극 위에 형성되어 있는 산화막을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 나노 정보소자
2	2 제 1항에 있어서,상기 갭은 1 나노미터 이하인 것을 특징으로 하는 나노 정보소자
3	3 제 1항에 있어서,상기 제 1 나노튜브는 그 내부의 플러렌들이 서로 병합된 형상을 가지는 작은 반경 나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노 정보소자
4	4 나노 정보소자 제조방법에 있어서,기판 위에 콩깍지 모양 나노튜브를 증착하는 단계와,상기 나노튜브를 나노 리소그래피 공정 및 에칭 공정을 통하여 두 개의 나노튜브로 분리하는 단계와,상기 두 개의 나노튜브 중 어느 한쪽의 플러렌들을 이탈시키는 단계와,두 개의 나노튜브의 입구가 일직선상에서 위치되고 유지되도록 절연막으로 감싸는 단계와,상기 나노튜브 내부의 플러렌에 외부 전계를 가하기 위한 전극을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 나노 정보소자 제조방법
5	5 제 4항에 있어서,상기 갭은 1 나노미터 이하인 것을 특징으로 하는 나노 정보소자 제조방법
6	6 제 4항에 있어서,상기 제 1 나노튜브는 그 내부의 플러렌들이 서로 병합된 형상을 가지는 작은 반경 나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노 정보소자 제조방법
7	6 제 4항에 있어서,상기 제 1 나노튜브는 그 내부의 플러렌들이 서로 병합된 형상을 가지는 작은 반경 나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노 정보소자 제조방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0654386-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20040625 출원 번호 : 1020040048305 공고 연월일 : 20061205 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060927 청구범위의 항수 : 6 유별 : H01L 27/04 발명의 명칭 : 나노 정보소자 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20151130

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 중앙대학교 산학협력단 서울 동작구...
2	(의무자) 중앙대학교 산학협력단 서울 동작구...
2	(권리자) (주) 아이스퀘어 경기도 안성시 대덕면...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	405,000 원	2006년 11월 30일	납입
제 4 년분	금 액	172,000 원	2009년 09월 28일	납입
제 5 년분	금 액	172,000 원	2010년 10월 11일	납입
제 6 년분	금 액	172,000 원	2011년 10월 06일	납입
제 7 년분	금 액	328,000 원	2012년 10월 11일	납입
제 8 년분	금 액	328,000 원	2013년 10월 31일	납입
제 9 년분	금 액	328,000 원	2014년 11월 17일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.06.25	수리 (Accepted)	1-1-2004-0278132-45
2	전자문서첨부서류제출서	2004.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2004-5096772-60
3	의견제출통지서	2006.03.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0145890-65
4	지정기간연장신청서	2006.05.12	수리 (Accepted)	1-1-2006-0332849-98
5	명세서등보정서	2006.06.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0417084-93
6	의견서	2006.06.14	수리 (Accepted)	1-1-2006-0416973-99
7	등록결정서	2006.09.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0564927-27
8	출원인변경신고서	2006.11.10	수리 (Accepted)	1-1-2006-0824714-95
9	출원인정보변경(경정)신고서	2006.11.10	수리 (Accepted)	4-1-2006-5161622-51
10	출원인정보변경(경정)신고서	2006.11.10	수리 (Accepted)	4-1-2006-5161617-22
11	대리인선임신고서	2006.11.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0886292-50
12	출원인정보변경(경정)신고서	2011.07.20	수리 (Accepted)	4-1-2011-5148879-89
13	출원인정보변경(경정)신고서	2011.07.20	수리 (Accepted)	4-1-2011-5148883-62
14	출원인정보변경(경정)신고서	2014.01.03	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000494-54
15	출원인정보변경(경정)신고서	2014.10.20	수리 (Accepted)	4-1-2014-5123944-33
16	출원인정보변경(경정)신고서	2018.07.04	수리 (Accepted)	4-1-2018-5125629-51
17	출원인정보변경(경정)신고서	2019.07.29	수리 (Accepted)	4-1-2019-5151122-15
18	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.01	수리 (Accepted)	4-1-2019-5153932-16


과제고유번호	1350012835
세부과제번호	R01-2004-000-10864-0
연구과제명	Peapod구조나노튜브합성및엔도-플러렌왕복나노전자소자개발
성과구분	등록
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국과학재단
연구주관기관명	중앙대학교
성과제출연도	2006
연구기간	200409~200708
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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