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12족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 전구체, 그의 제조방법 및 상기 전구체를 이용한 칼코겐화물 박막

  • 기술번호 : KST2015182114
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학증기증착법(Chemical Vapor Deposition)으로 12족(Zn, Cd, Hg) 칼로겐화물 박막제조시 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 화합물인 전구체 및 그의 제조방법, 그리고 하기 화학식 1로 표기되는 단일 전구체(Single Precursor)를 사용하여 저온에서 12족 금속과 칼코겐 원소의 조성이 1:1인 칼코겐화물(chalcogenide) 박막을 제공한다. [화학식 1] (상기 식에서, M은 12족 금속으로서 Zn, Cd 또는 Hg; E는 칼코겐 원소로서 S 또는 Se이며; R1, R2, R3, R4는 각각 독립적으로 C1~6의 알킬기임.) 12족, 칼로겐화물, CVD, 화학증기증착법, 전구체
Int. CL C07F 3/08 (2006.01.01) C07F 3/06 (2006.01.01) C07F 3/10 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01)
CPC C07F 3/08(2013.01) C07F 3/08(2013.01) C07F 3/08(2013.01) C07F 3/08(2013.01)
출원번호/일자 1020040113209 (2004.12.27)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0074460 (2006.07.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심일운 대한민국 서울특별시 중구
2 정한철 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤석환 대한민국 서울 동작구
4 이승수 대한민국 서울특별시 양천구
5 서국원 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신동준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0617656-65
2 보정요구서
Request for Amendment
2005.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0000104-19
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0039054-22
4 수수료등의 반환안내서
Notification of Return of Official Fee, etc.
2005.01.27 수리 (Accepted) 1-5-2005-0008222-74
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2006-0011344-12
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0232583-72
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0409719-44
9 의견서
Written Opinion
2006.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0409761-52
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0429480-32
11 대리인변경신고서
Agent change Notification
2006.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2006-0642661-49
12 대리인변경신고서
Agent change Notification
2006.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0645355-08
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.09.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0691235-40
14 의견서
Written Opinion
2006.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0691234-05
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0680755-69
16 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2006.12.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0041364-04
17 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0047740-94
18 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0237009-46
19 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0312990-94
20 의견서
Written Opinion
2007.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0312989-47
21 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2007.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0250916-39
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
25 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
26 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
27 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
28 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 화학증기증착법에 의해 12족 금속의 칼코겐화물 박막을 제조하기 위한 전구체
2 2
제 1항에 있어서, 상기 R1, R2, R3, R4,는 각각 독립적으로 C1~6의 알킬기라 함은 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸, 헥실, 페닐 그리고 시클로고리화합물인 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1로 표시되는 화학증기증착법에 의해 12족 금속의 칼코겐화물 박막을 제조하기 위한 전구체
3 3
제 2항의 상기 시클로고리화합물이라 함은 상기 화학식 1에서 R1과 R2가 연결된 구조 또는 R3와 R4가 연결된 구조인 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1로 표시되는 화학증기증착법에 의해 12족 금속의 칼코겐화물 박막을 제조하기 위한 전구체
4 4
(a) 수산화나트륨 용액에 카본디설파이드 또는 카본디셀레나이드, 및 2차 아민을 부가하여 혼합하는 단계; 및 (b) 상기 (a) 단계 결과물에 증류수에 녹인 Zn
5 5
Zn
6 6
하기 화학식 1로 표시되는 전구체를 이용하여 화학증기증착법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 12족 금속의 칼코겐화물 박막
7 6
하기 화학식 1로 표시되는 전구체를 이용하여 화학증기증착법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 12족 금속의 칼코겐화물 박막
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패밀리정보가 없습니다
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