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정렬된 포어를 가지는 열전 박막 및 그 제조방법, 그리고 이를 가지는 열전 소자

  • 기술번호 : KST2015182843
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 양태에 의하면, 정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법이 제공된다. 상기 제조방법은, 기판에 구형 구조물들을 단층으로 적층하는 단계; 상기 구형 구조물들의 사이즈를 축소시키는 단계; 상기 축소된 구형 구조물들이 적층된 기판 상에 열전(thermoelectric) 물질을 증착시키는 단계; 및 상기 구형 구조물들을 제거하는 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 35/02 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020140030025 (2014.03.14)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1590695-0000 (2016.01.26)
공개번호/일자 10-2015-0107956 (2015.09.24) 문서열기
공고번호/일자 (20160202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.14)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상권 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박노원 대한민국 전북 전주시 덕진구
3 이원용 대한민국 제주 제주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이피에스 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, *층 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0246305-09
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0864415-41
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2014.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2014.09.22 수리 (Accepted) 9-1-2014-0076409-14
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0810764-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0047855-65
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0047853-74
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0178965-64
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0471883-12
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0471882-77
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0474245-75
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0886892-45
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-0886891-00
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0808816-25
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0064719-42
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0064692-08
18 등록결정서
Decision to grant
2016.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0059955-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법으로서,기판에 구형 구조물들을 단층으로 적층하는 단계;상기 구형 구조물들의 사이즈를 축소시키는 단계;상기 축소된 구형 구조물들이 적층된 기판 상에 열전(thermoelectric) 물질을 증착시키는 단계; 및상기 구형 구조물들을 제거하는 단계;를 포함하며,상기 정렬된 포어들(pores)의 위치 및 크기는 상기 축소된 구형 구조물들의 위치 및 크기에 각각 대응되는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 적층하는 단계는,상기 구형 구조물들이 조밀육방격자(Hexagonal Close Packed; HCP) 구조를 가지도록 상기 구형 구조물들을 적층하는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 축소시키는 단계는,상기 구형 구조물들을 식각하는 단계;를 포함하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 식각하는 단계는,반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching; RIE)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 축소시키는 단계에 의하여, 상기 구형 구조물들 사이에 갭(gap)이 형성되는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 열전 물질을 증착시키는 단계는,상기 증착된 열전 물질의 두께가 상기 축소된 구형 구조물들의 높이보다 더 작게 상기 열전 물질을 증착시키는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 열전 물질은, 상기 축소된 구형 구조물들 사이에 형성된 갭(gap)에 증착되는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 열전 물질을 증착시키는 단계는,상기 축소된 구형 구조물들을 마스크로 하여 상기 기판에 상기 열전 물질을 증착시키는 것을 특징으로 하는정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 복수의 정렬된 포어들(aligned pores)을 가지는 다공성 열전(thermoelectric) 박막에 있어서,상기 포어들은 상기 열전 박막을 관통하며,상기 포어의 제1 측 개구(opening)의 크기는 상기 포어의 제2 측 개구의 크기 보다 더 큰 것을 특징으로 하는정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
11 11
제 10 항에 있어서,상기 제1 측 개구의 크기는 상기 제2 측 개구의 크기의 105% 이상 115% 이하인 것을 특징으로 하는정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
12 12
제 10 항에 있어서,상기 다공성 열전 박막의 상기 포어들 중 서로 이웃하는 포어들 사이에 개재된 부분의 수직 단면은 사다리꼴 형상인 것을 특징으로 하며, 이때 상기 수직 단면은 상기 제1 측 개구가 형성된 면(surface)에 대해 수직한 방향을 따르는 단면인정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
13 13
제 12 항에 있어서,상기 사다리꼴 형상에 있어서, 상기 사다리꼴의 빗변의 기울기는 70도 이상 85도 이하인 것을 특징으로 하는정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
14 14
제 10 항에 있어서,상기 다공성 열전 박막의 제1 평탄면 및 포어의 제1 측 개구들의 넓이를 포함하는 상기 다공성 열전 박막의 전체 면적에 대해서, 상기 포어의 제1 측 개구가 차지하는 면적비는 30% 이상 45% 이하인 것을 특징으로 하며, 이때 상기 제1 평탄면은 상기 제1 측 개구들이 형성되는 측의 평탄면인정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
15 15
제 14 항에 있어서,상기 포어의 제1 측 개구가 차지하는 면적비는 상기 포어의 상기 제1 측 개구의 크기가 커질수록 작아지는 것을 특징으로 하는정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
16 16
제 10 항에 있어서, 상기 정렬된 복수의 포어들에 의해 상기 열전 박막의 포논 평균 자유 경로(phonon mean free path)가 짧아지는 것을 특징으로 하는정렬된 포어를 가지는 다공성 열전 박막
17 17
삭제
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1 산업통상자원부 중앙대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 (RCMS)자연모사 응용 스마트/용제 순환기술