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전자기파를 생성하는 광원;판의 상부에 기계적으로 결합되고, 판에서 상기 광원쪽으로 연장되어 형성되는 몸체 및 상기 몸체의 끝면에는 상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 반사시켜 베셀 빔 형성부로 입사시키는 반사면을 포함하는 경로 변경부;상기 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부에 이격되어 배치되어 상기 경로 변경부와 일체로 이동되고, 상기 반사면으로부터 입사된 전자기파를 이용하여 피검물의 적어도 일부분에 베셀 빔이 형성되도록 하는 베셀 빔 형성부;상기 피검물로부터의 전자기파의 세기를 검출하는 검출부;상기 광원, 상기 경로 변경부, 상기 베셀 빔 형성부 및 상기 검출부를 내부에 구비한 하우징; 및상기 하우징의 내부에 배치되고, 상기 판의 하부에 기계적으로 결합되고, 회전 운동하여 상기 판을 회전시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 일체로 회전시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 회전 스캔할 수 있게 하는 경로 변경부용 구동부;를 포함하는, 검출용 프로브
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전자기파를 생성하는 광원;판의 상부에 기계적으로 결합되고, 판에서 상기 광원쪽으로 연장되어 형성되는 몸체 및 상기 몸체의 끝면에는 상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 반사시켜 베셀 빔 형성부로 입사시키는 반사면을 포함하는 경로 변경부;상기 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부에 이격되어 배치되어 상기 경로 변경부와 일체로 이동되고, 상기 반사면으로부터 입사된 전자기파를 이용하여 피검물의 적어도 일부분에 베셀 빔이 형성되도록 하는 베셀 빔 형성부;상기 피검물로부터의 전자기파의 세기를 검출하는 검출부;상기 광원 및 상기 검출부를 내부 포함하고, 제 2 하우징을 수용할 수 있는 홈과, 홈의 양측면에는 상기 제 2 하우징이 수용된 상태에서 회전할 수 있도록 하는 회전 부재를 포함하는 제 1 하우징;상기 경로 변경부, 상기 베셀 빔 형성부 및 경로 변경부용 구동부를 포함하고, 상기 회전 부재와 결합되는 결합부를 포함하는 제 2 하우징;상기 제 2 하우징의 내부에 배치되고, 상기 판의 하부에 기계적으로 결합되고, 틸팅 운동하여 상기 판을 틸팅시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 일체로 틸팅시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 원형으로 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 평면 스캔할 수 있게 하는 경로 변경부용 구동부; 및 상기 제 2 하우징의 외부에 기계적으로 결합되고, 회전 운동하여 상기 제 2 하우징만을 회전시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 회전 스캔할 수 있게 하는 회전 구동부;를 포함하는, 검출용 프로브
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 광원 및 상기 경로 변경부 사이에 형성되는 도파관;상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 상기 도파관의 내부로 입사시키는 커플링 렌즈; 및상기 도파관으로부터 방출된 전자기파를 상기 경로 변경부로 집속시키는 포커싱 렌즈를 더 포함하는 검출용 프로브
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제 2 항에 있어서,상기 경로 변경부용 구동부는,상기 판의 하부의 일측에 기계적으로 결합되는 제 1 액츄에이터; 및상기 판의 하부의 타측에 기계적으로 결합되는 제 2 액츄에이터를 포함하고, 상기 제 1 액츄에이터 및 상기 제 2 액츄에이터는 구동 길이가 서로 달라 상기 판을 2차원으로 이동시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 이용하여 2차원 스캔이 가능하게 하는, 검출용 프로브
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5
제 1 항에 있어서,상기 경로 변경부용 구동부는,상기 판의 하부의 일측에 기계적으로 결합되는 제 1 액츄에이터; 및상기 판의 하부의 타측에 기계적으로 결합되는 제 2 액츄에이터를 포함하고, 상기 제 1 액츄에이터 및 상기 제 2 액츄에이터는 구동 길이가 서로 달라 상기 판을 2차원으로 이동시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 이용하여 2차원 스캔이 가능하게 하는, 검출용 프로브
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6 |
6
전자기파를 생성하는 광원과, 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 판에서 상기 광원쪽으로 연장되어 형성되는 몸체 및 상기 몸체의 끝면에는 상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 반사시켜 베셀 빔 형성부로 입사시키는 반사면을 포함하는 경로 변경부와, 상기 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부에 이격되어 배치되어 상기 경로 변경부와 일체로 이동되고, 상기 반사면으로부터 입사된 전자기파를 이용하여 피검물의 적어도 일부분에 베셀 빔이 형성되도록 하는 베셀 빔 형성부와, 상기 피검물로부터의 전자기파의 세기를 검출하는 검출부와, 상기 광원, 상기 경로 변경부, 상기 베셀 빔 형성부 및 상기 검출부를 내부에 구비한 하우징과, 상기 하우징의 내부에 배치되고, 상기 판의 하부에 기계적으로 결합되고, 회전 운동하여 상기 판을 회전시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 일체로 회전시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 회전 스캔할 수 있게 하는 경로 변경부용 구동부를 포함하는 검출용 프로브; 및상기 하우징의 외부에 배치되고, 상기 하우징과 기계적으로 결합되고, 직선 운동하여 상기 하우징을 직선 이동시켜 검출용 프로브의 주변에 원형으로 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 상하 스캔할 수 있게 하는 직선 구동부;를 포함하는 프로브형 검출 장치
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7
전자기파를 생성하는 광원과, 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 판에서 상기 광원쪽으로 연장되어 형성되는 몸체 및 상기 몸체의 끝면에는 상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 반사시켜 베셀 빔 형성부로 입사시키는 반사면을 포함하는 경로 변경부와, 상기 판의 상부에 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부에 이격되어 배치되어 상기 경로 변경부와 일체로 이동되고, 상기 반사면으로부터 입사된 전자기파를 이용하여 피검물의 적어도 일부분에 베셀 빔이 형성되도록 하는 베셀 빔 형성부와, 상기 피검물로부터의 전자기파의 세기를 검출하는 검출부와, 상기 광원 및 상기 검출부를 내부 포함하고, 제 2 하우징을 수용할 수 있는 홈과, 홈의 양측면에는 상기 제 2 하우징이 수용된 상태에서 회전할 수 있도록 하는 회전 부재를 포함하는 제 1 하우징과, 상기 경로변경부, 상기 베셀 빔 형성부 및 경로 변경부용 구동부를 포함하고, 상기 회전 부재와 결합되는 결합부를 포함하는 제 2 하우징과, 상기 제 2 하우징의 내부에 배치되고, 상기 판의 하부에 기계적으로 결합되고, 틸팅 운동하여 상기 판을 틸팅시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 일체로 틸팅시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 원형으로 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 평면 스캔할 수 있게 하는 경로 변경부용 구동부와, 상기 제 2 하우징의 외부에 기계적으로 결합되고, 회전 운동하여 상기 제 2 하우징만을 회전시킴으로써 검출용 프로브의 주변에 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 회전 스캔할 수 있게 하는 회전 구동부;를 포함하는 검출용 프로브; 및상기 제 1 하우징의 외부에 기계적으로 결합되고, 직선 운동하여 상기 제 1 하우징 및 상기 제 2 하우징을 직선으로 이동시켜 검출용 프로브의 주변에 원형으로 형성된 피검물에 상기 베셀 빔이 형성되도록 하여 피검물에 대해 평면 스캔할 수 있게 하는 직선 구동부;를 포함하는 프로브형 검출 장치
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 검출용 프로브는,상기 광원 및 상기 경로 변경부 사이에 형성되는 도파관;상기 광원으로부터 입사되는 전자기파를 상기 도파관의 내부로 입사시키는 커플링 렌즈; 및상기 도파관으로부터 방출된 전자기파를 상기 경로 변경부로 집속시키는 포커싱 렌즈를 더 포함하는 프로브형 검출 장치
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제 7 항에 있어서,상기 경로 변경부용 구동부는,상기 판의 하부의 일측에 기계적으로 결합되는 제 1 액츄에이터; 및상기 판의 하부의 타측에 기계적으로 결합되는 제 2 액츄에이터를 포함하고, 상기 제 1 액츄에이터 및 상기 제 2 액츄에이터는 구동 길이가 서로 달라 상기 판을 2차원으로 이동시켜 상기 경로 변경부 및 상기 베셀 빔 형성부를 이용하여 2차원 스캔이 가능하게 하는, 프로브형 검출 장치
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