요약 | 본 발명은 진공 및 고온환경을 만들어 부품들을 구워내는(Bake-out)시키는 챔버(Chamber)의 내부온도를 조절하는 진공챔버용 온도센서 설정방법에 관한 것이다.이러한 본 발명은 열진공 챔버의 내부설정온도에서 열진공 챔버의 히터 윗쪽중심부에 설치된 제2온도센서로 감지된 온도를 감산하고 상기 감산된 값에 열진공챔버의 히터 전방에 설치된 제1온도센서의 전단계 온도를 가산한 값으로 제1온도센서의 셋팅값을 변경시켜 주도록하므로 이루어진다. |
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Int. CL | G01K 7/00 (2006.01) |
CPC | G01K 7/003(2013.01) G01K 7/003(2013.01) G01K 7/003(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019990064932 (1999.12.29) |
출원인 | 한국항공우주연구원 |
등록번호/일자 | 10-0334512-0000 (2002.04.16) |
공개번호/일자 | 10-2001-0065118 (2001.07.11) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20020426) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1999.12.29) |
심사청구항수 | 1 |