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진공챔버용 온도센서 설정방법

  • 기술번호 : KST2015183740
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공 및 고온환경을 만들어 부품들을 구워내는(Bake-out)시키는 챔버(Chamber)의 내부온도를 조절하는 진공챔버용 온도센서 설정방법에 관한 것이다.이러한 본 발명은 열진공 챔버의 내부설정온도에서 열진공 챔버의 히터 윗쪽중심부에 설치된 제2온도센서로 감지된 온도를 감산하고 상기 감산된 값에 열진공챔버의 히터 전방에 설치된 제1온도센서의 전단계 온도를 가산한 값으로 제1온도센서의 셋팅값을 변경시켜 주도록하므로 이루어진다.
Int. CL G01K 7/00 (2006.01)
CPC G01K 7/003(2013.01) G01K 7/003(2013.01) G01K 7/003(2013.01)
출원번호/일자 1019990064932 (1999.12.29)
출원인 한국항공우주연구원
등록번호/일자 10-0334512-0000 (2002.04.16)
공개번호/일자 10-2001-0065118 (2001.07.11) 문서열기
공고번호/일자 (20020426) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.12.29)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국항공우주연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최석원 대한민국 대전광역시유성구
2 최준민 대한민국 대전광역시유성구
3 이주진 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동모 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로***번길 ** 드림타운 ***호(둔산동)(이동모특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국항공우주연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.12.29 수리 (Accepted) 1-1-1999-0186761-87
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.02.06 수리 (Accepted) 4-1-2001-0012005-28
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.02.14 수리 (Accepted) 4-1-2001-0015296-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2001.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0170788-19
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2001.07.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0181221-55
6 의견서
Written Opinion
2001.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2001-0181220-10
7 등록결정서
Decision to grant
2002.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0058828-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.05.25 수리 (Accepted) 4-1-2006-5072452-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2007-5192030-93
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번호 청구항
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히터가 단속적으로 설치된 열진공챔버의 온도조절을 위한 온도센서 설정에 있어서, 열진공챔버의 히터전방에 설치된 제1온도센서를 콘트롤 온도센서로 사용할 때, 열진공챔버의 평균온도를 대표할 수 있도록 열진공챔버 중심부에 설치된 제2온도센서로 감지된 온도값을 감산하고, 상기 감산값에 제1온도센서로 감지된 전단계 온도값을 가산하며, 상기 가산된 값으로 제1온도센서의 셋팅값을 변경시키는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 온도센서 설정방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.