| 1 |
1
내부에 냉각 유체 공급구 및 냉각 유체 배출구를 구비하는 열 진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체에 있어서, 프레임;상기 프레임에 장착되고, 냉각 유체의 유입을 위한 오염 물질 흡착판 유입구 및 냉각 유체의 유출을 위한 오염 물질 흡착판 유출구를 구비하는 하나 이상의 오염 물질 흡착판;일단은 상기 냉각 유체 공급구와 연결되고, 타단은 상기 오염 물질 흡착판 유입구와 연결되는 유입 라인;일단은 상기 오염 물질 흡착판 유출구와 연결되고, 타단은 상기 냉각 유체 배출구와 연결되는 유출 라인; 및상기 프레임에 장착되어, 상기 프레임의 이동을 가능하게 하는 프레임 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판은 복수 개가 구비되고, 상기 복수 개의 오염 물질 흡착판 중 적어도 두 개 이상이 동일 평면 상에 배치되어 형성되는 오염 물질 흡착판 평면체가 복수 개가 구비되며, 각각의 오염 물질 흡착판 평면체는 서로 대향하게 배치되되, 상단간 거리가 하단간 거리보다 작은 삼각형 빗변 타입으로 배치되는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판 유입구는 각각의 오염 물질 흡착판의 하단에 배치되고, 상기 오염 물질 흡착판 유출구는 각각의 오염 물질 흡착판의 상단에 배치되는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 4 |
4
제 2항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판은, 서로 대향하는 두 개의 플레이트 표면의 엠보싱에 의하여 형성된 유로를 따라 냉각 유체가 유동하는 이중벽 오염 물질 흡착판인 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판은 곡면 형상을 갖고, 복수 개가 구비되되, 상기 복수 개의 오염 물질 흡착판 중 적어도 두 개 이상이 동일 곡면 상에 배치되어 형성되는 오염 물질 흡착판 곡면체가 복수 개가 구비되고, 각각의 오염 물질 흡착판 평면체는 내곡면이 서로 대향하게 배치되도록, 상기 복수 개의 오염 물질 흡착판 곡면체는 원형 타입으로 배치되는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판 유입구는 각각의 오염 물질 흡착판의 하단에 배치되고, 상기 오염 물질 흡착판 유출구는 각각의 오염 물질 흡착판의 상단에 배치되는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 유입 라인 및 상기 유출 라인의 적어도 일부는 플렉서블 라인으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서, 상기 플렉서블 라인은 길이 방향을 따라 접철 가능한 벨로우즈 라인인 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 9 |
9
제 1항에 있어서, 상기 프레임 이동 수단은 복수 개의 이동 휠을 구비하고, 상기 각각의 이동 휠의, 상기 프레임으로부터의 연결 중심축은, 상기 이동 휠 및 열진공 챔버 내면의 접선에 수직한 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 10 |
10
제 1항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판의 하류 및 상기 냉각 유체 배출구의 상류로, 상기 유출 라인에 구비되는 냉각 유체 리저버와; 상기 냉각 유체 리저버의 내측 상단에 배치되어, 상기 리저버 내 냉각 유체의 일정 수위 도달 여부를 검출하는 센서와; 적어도 상기 오염 물질 흡착판 유입구의 상류에 배치되어, 상기 센서로부터의 신호에 따라 냉각 유체의 유동을 제어하는 냉각 유체 제어 밸브;를 포함하는 냉각 유체 제어 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
| 11 |
10
제 1항에 있어서, 상기 오염 물질 흡착판의 하류 및 상기 냉각 유체 배출구의 상류로, 상기 유출 라인에 구비되는 냉각 유체 리저버와; 상기 냉각 유체 리저버의 내측 상단에 배치되어, 상기 리저버 내 냉각 유체의 일정 수위 도달 여부를 검출하는 센서와; 적어도 상기 오염 물질 흡착판 유입구의 상류에 배치되어, 상기 센서로부터의 신호에 따라 냉각 유체의 유동을 제어하는 냉각 유체 제어 밸브;를 포함하는 냉각 유체 제어 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열진공 챔버용 오염 물질 흡착 구조체
|
