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내부로 냉각 유체가 유출입하는 쉬라우드를 구비하는 열진공 챔버 장치에 있어서,액상 냉각 유체 저장소를 포함하는 냉각 유체 저장부;상기 냉각 유체 저장부와 유체 소통되고 상기 쉬라우드로의 액상 냉각 유체 공급을 제어하는 액상 제어 밸브부를 포함하는 액상 냉각 유체 공급부, 그리고 상기 냉각 유체 저장부의 액상 냉각 유체 저장소와 유체 소통되는 기화기 및 상기 기화기와 유체 소통되고 상기 쉬라우드로의 기상 냉각 유체 공급을 제어하는 기상 제어 밸브부를 포함하는 기상 냉각 유체 공급부를 구비하여 상기 쉬라우드와 유체 소통을 이루는 냉각 유체 공급부;상기 쉬라우드의 일면 상에 부착되어 표면으로부터의 음향 방출 신호를 검출하는 음향 방출 신호 검출 수단;상기 냉각 유체 공급부 및 상기 음향 방출 신호 검출 수단과 전기적 소통을 이루어, 상기 음향 방출 신호 검출 수단으로부터의 음향 검출 신호를 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하여 상기 쉬라우드의 누설 여부를 판단하고, 상기 액상 제어 밸브부 및 상기 기상 제어 밸브부로 밸브 제어 신호를 출력하는 제어부;를 포함하는 열진공 챔버 장치
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내부로 냉각 유체가 유출입하는 쉬라우드를 구비하는 열진공 챔버 장치에 있어서,액상 냉각 유체 저장소 및 기상 냉각 유체 저장소를 포함하는 냉각 유체 저장부;상기 액상 냉각 유체 저장소와 유체 소통되고 상기 쉬라우드로의 액상 냉각 유체 공급을 제어하는 액상 제어 밸브부를 포함하는 액상 냉각 유체 공급부, 상기 기상 냉각 유체 저장소와 유체 소통되고 상기 쉬라우드로의 기상 냉각 유체 공급을 제어하는 기상 제어 밸브부를 포함하는 기상 냉각 유체 공급부를 구비하여 상기 쉬라우드와 유체 소통을 이루는 냉각 유체 공급부;상기 쉬라우드의 일면 상에 부착되어 표면으로부터의 음향 방출 신호를 검출하는 음향 방출 신호 검출 수단;상기 냉각 유체 공급부 및 상기 음향 방출 신호 검출 수단과 전기적 소통을 이루어, 상기 음향 방출 신호 검출 수단으로부터의 음향 검출 신호를 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하여 상기 쉬라우드의 누설 여부를 판단하고, 상기 액상 제어 밸브부 및 상기 기상 제어 밸브부로 밸브 제어 신호를 출력하는 제어부;를 포함하는 열진공 챔버 장치
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삭제
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제 1항에 있어서, 상기 제어부는: 상기 음향 방출 신호 검출 수단으로부터의 음향 방출 신호를 증폭하는 증폭기와, 상기 증폭된 음향 방출 신호를 상기 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하는 필터부와, 상기 필터링된 음향 방출 필터링 신호를 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기와, 상기 디지털화된 음향 방출 필터링 신호에 따라 상기 밸브 제어 신호를 출력하는 신호 발생기를 구비하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치
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제 4항에 있어서, 상기 신호 발생기는 상기 디지털화된 음향 방출 필터링 신호에 따라 경보 제어 신호를 더 출력하고, 상기 신호 발생기와 연결되어 상기 경보 제어 신호에 따라 작동하는 경보 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치
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제 5항에 있어서, 상기 AD 변환기와 연결되어, 상기 디지털화된 음향 방출 필터링 신호를 표시하는 디스플레이부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치
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제 1항에 있어서, 상기 액상 제어 밸브부는, 액상 냉각 유체의 공급을 조정하는 액상 제어 밸브와, 상기 액상 제어 밸브의 작동을 조정하는 액상 제어 밸브 작동기를 구비하고, 상기 기상 제어 밸브부는, 기상 냉각 유체의 공급을 조정하는 기상 제어 밸브와, 상기 기상 제어 밸브의 작동을 조정하는 기상 제어 밸브 작동기를 구비하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치
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제 1항에 따른 열 진공 챔버 장치를 제공하는 단계;상기 쉬라우드와 동일한 재질의 시험 모델 쉬라우드로부터, 상기 시험 모델 쉬라우드의 미세 균열이 발생하는 주파수 신호를 검출하는 단계;검출된 상기 주파수 신호를 사전 설정 주파수로 설정하여 상기 제어부에 입력하는 단계;상기 액체 냉각 유체 공급부를 통하여 상기 쉬라우드로 액체 냉각 유체를 제공하는 단계;상기 쉬라우드의 일면 상에 부착된 음향 방출 신호 검출 수단으로부터, 상기 쉬라우드의 일면으로부터 발생하는 음향 방출 신호를 검출하고, 상기 검출된 음향 방출 신호를 제어부로 입력하는 단계;상기 제어부가 입력된 상기 음향 방출 신호를 상기 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하여 상기 쉬라우드의 누설 여부를 판단하고, 상기 액상 제어 밸브부 및 상기 기상 제어 밸브부에 밸브 제어 신호를 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치를 제어하기 위한 방법
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제 8항에 있어서, 상기 쉬라우드 누설 여부 판단 및 밸브 제어 신호 출력 단계는: 상기 입력된 음향 방출 신호를 증폭하는 단계; 상기 증폭된 음향 방출 신호를 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하는 단계; 필터링된 음향 방출 필터링 신호로부터, 상기 액상 제어 밸브부 및 상기 기상 제어 밸브부를 제어하기 위한 밸브 제어 신호를 출력하는 신호 발생 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치를 제어하기 위한 방법
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제 8항에 있어서, 상기 쉬라우드 누설 여부 판단 및 밸브 제어 신호 출력 단계는: 상기 입력된 음향 방출 신호를 증폭하는 단계; 상기 증폭된 음향 방출 신호를 사전 설정 주파수를 기준으로 필터링하는 단계; 필터링된 음향 방출 필터링 신호로부터, 상기 액상 제어 밸브부 및 상기 기상 제어 밸브부를 제어하기 위한 밸브 제어 신호를 출력하는 신호 발생 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 진공 챔버 장치를 제어하기 위한 방법
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