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압력감지소자 및 이를 갖는 압력감지장치
- 기술번호 : KST2015183894
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은, 압력감지소자 및 이를 갖는 압력감지장치에 관한 것으로서, 상기 압력감지소자는, 가해지는 압력을 전하로 변환하는 픽셀구조의 압전부와, 상기 압전부에서 변환된 전하를 일시적으로 축적하는 축적부와, 상기 축적부에 축전된 전하를 외부로 전송하는 수평 전송부를 갖는 CCD형 감지센서와; 상기 압전부 및 축적부에 수직 전송 펄스 신호를 인가하는 수직 드라이버와, 상기 축적부 및 수평 전송부에 수평 전송 펄스 신호를 인가하는 수평 드라이버와, 타이밍 클럭 신호를 생성하고, 상기 타이밍 클럭 신호를 상기 수평 및 수직 드라이버에 전달하는 타이밍 제어 회로를 갖는 센서구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 압력 감지 대상 영역을 정밀하게 분할하여 압력을 감지할 수 있고, 장비의 가격을 저렴하게 형성할 수 있는 압력감지소자 및 이를 갖는 압력감지장치가 제공된다. 압력, CCD, 전하, 센서, 압전, 축적, 전송 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 29/84 (2006.01) |
| CPC | G01L 1/167(2013.01) G01L 1/167(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020050112449 (2005.11.23) |
| 출원인 | 한국항공우주연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0636391-0000 (2006.10.12) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20061018) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2005.11.23) |
| 심사청구항수 | 2 |