요약 | 본 발명은 진공 챔버 내부에 대기압 환경을 조성하여 진공 상태에서 오작동하는 실험장치를 진공 챔버 내부에서도 사용할 수 있는 진공 챔버 내부 대기압 환경 조성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 상기한 목적의 본 발명은 분기구가 형성되어 있는 진공 챔버, 상기 진공 챔버의 내부에 설치되고, 유입구가 형성된 대기압 챔버 및 상기 진공 챔버의 분기구에 결합되는 외부 플랜지와, 상기 대기압 챔버의 유입구에 결합하는 내부 플랜지와, 상기 외부 플랜지와 상기 내부 플랜지를 연결하는 연결관을 구비한 배관을 포함 하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 진공 챔버 내에 대기압 환경을 조성할 수 있어 진공 상태에 실험장치가 노출되어 발생할 수 있는 실험장치의 고장 및 오작동을 방지할 수 있는 효과가 있다. 진공챔버, 대기압챔버, 배관, 플랜지, 실험장치 |
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Int. CL | G01M 99/00 (2011.01) |
CPC | G01M 99/00(2013.01) G01M 99/00(2013.01) G01M 99/00(2013.01) G01M 99/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080131010 (2008.12.22) |
출원인 | 한국항공우주연구원 |
등록번호/일자 | 10-1064179-0000 (2011.09.05) |
공개번호/일자 | 10-2010-0072571 (2010.07.01) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20110914) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.12.22) |
심사청구항수 | 4 |