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성능 측정의 대상이 되는 광학계의 수광부 인근에 배치되는 피사체 및 상기 피사체에 광을 조사하는 광원과;상기 피사체에 조사되어 피사체를 거친 광을 집광하는 집광렌즈와;상기 집광렌즈에 의해 집광된 광을 수광받아 상기 광학계의 수광부 측으로 조사하여 조사된 광이 광학계를 통과하도록 하는 광 분할기(Beam Splitter)와;상기 광학계의 수광부와 대향되는 반대편에 배치되어 광학계를 통과한 광을 반사시켜 광학계로 재차 통과시키는 미러(mirror)와;상기 광학계의 수광부 측에 배치되어 광학계를 재차 통과한 광을 수광받아 상기 피사체를 이미징하는 이미지센서를 포함하여 구성되어,상기 이미지센서에 이미징된 피사체의 선명도를 판별함에 의해 상기 광학계의 성능을 측정하는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 피사체, 집광렌즈 및 미러에 각각 설치되어 피사체, 집광렌즈 및 미러를 다방향으로 회동 또는 이송시키는 제1 내지 제3 구동수단을 더 포함하며,상기 제1 내지 제3 구동수단은 스텝모터 또는 실린더로 마련되는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 장치
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제1항 또는 제2항에 기재된 광학계 성능 측정 장치를 이용하여 광학계의 성능을 측정하는 방법에 있어서,(a) 상기 광원이 피사체에 광을 조사하는 단계와;(b) 상기 집광렌즈가 피사체를 거친 광을 집광시키는 단계와;(c) 상기 광 분할기가 집광렌즈에 의해 집광된 광을 수광받아 광학계로 조사하는 단계와;(d) 상기 미러를 제3 구동수단에 의해 회동 또는 이송시키는 단계와;(e) 상기 미러가 광학계를 통과한 광을 반사시켜 광학계로 재차 통과시키는 단계와;(f) 상기 광학계를 재차 통과한 광이 광 분할기를 거쳐 이미지센서로 수광되어 이미징되는 단계와;(g) 상기 이미지센서에 이미징된 피사체의 선명도를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 방법
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제3항에 있어서,상기 단계 (a) 전,(h) 상기 제1 구동수단 및 제2 구동수단에 의해 상기 피사체 및 집광렌즈를 회동 또는 이송시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 방법
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제1항 또는 제2항에 기재된 광학계 성능 측정 장치를 이용하여 광학계의 성능을 측정하는 방법에 있어서,(a) 상기 제1 구동수단 및 제2 구동수단에 의해 피사체 및 집광렌즈를 회동 또는 이송시키는 단계와;(b) 상기 광원이 피사체에 광을 조사하는 단계와;(c) 상기 집광렌즈가 피사체를 거친 광을 집광시키는 단계와;(d) 상기 광 분할기가 집광렌즈에 의해 집광된 광을 수광받아 광학계로 조사하는 단계와;(e) 상기 미러가 광학계를 통과한 광을 반사시켜 광학계로 재차 통과시키는 단계와;(f) 상기 광학계를 재차 통과한 광이 광 분할기를 거쳐 이미지센서로 수광되어 이미징되는 단계와;(g) 상기 이미지센서에 이미징된 피사체의 선명도를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 방법
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제5항에 있어서,상기 단계 (d) 후,(h) 상기 미러를 제3 구동수단에 의해 회동 또는 이송시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 성능 측정 방법
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