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열진공챔버의 내부의 케이블을 외부의 케이블과 연결시키는 포트플레이트(port plate)를 고정하는 포트플레이트 고정장치에 있어서,상기 열진공챔버의 플랜지에 고정되는 플랜지 고정부;상기 플랜지 고정부에서 연장되는 연결부;상기 연결부에서 연장되는 가로바에 이동가능하게 결합하도록 가이드홀이 형성되는 이동몸체;상기 이동몸체에 회전가능하게 결합하는 회전판; 및일단부는 상기 회전판에 결합되고, 타단부는 상기 포트플레이트를 고정시키는 포트플레이트 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 포트플레이트 고정장치
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제1항에 있어서,상기 이동몸체는 상기 회전판의 외주 단부가 끼워지는 끼움홈과, 상기 가이드홀과 연통되는 이동몸체 고정홀 및 상기 끼움홈과 연통되는 회전판 고정홀을 포함하고,상기 이동몸체 고정홀 및 회전판 고정홀에는 각각 볼트가 끼워져 상기 이동몸체 및 회전판이 고정되는 것을 특징으로 하는 포트플레이트 고정장치
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제2항에 있어서,상기 회전판에는 상기 포트플레이트가 상하로 이동가능하게 결합하도록 높이조절용 홀이 형성되고,상기 포트플레이트 고정부는 상기 포트플레이트에 형성된 고정홀에 끼워지는 한 쌍의 고정부재와, 상기 고정부재의 좌우 간격을 조절할 수 있도록 좌우로 길게 형성되는 한 쌍의 간격조절용 홀이 형성되는 고정몸체와, 일단은 상기 고정몸체와 연결되고 타단은 상기 높이조절용 홀에 끼워져 고정되는 세로바를 포함하는 것을 특징으로 하는 포트플레이트 고정장치
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제1항에 있어서,일단은 상기 연결부에 회동가능하게 연결되고, 타단은 상기 가로바에 결합되어, 상기 가로바가 아래로 처지는 것을 방지하는 지지바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포트플레이트 고정장치
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제1항에 있어서,상기 플랜지 고정부는 상기 플랜지에 대응되는 한 쌍의 프레임으로 구성되고, 상기 각각의 프레임 단부에는 볼트가 끼워지는 결합홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 포트플레이트 고정장치
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