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비활성 잔유물의 측정장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015184789
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 청정실 내에서 발생하거나 외부로부터 유입되는 미세 입자의 오염측정에 기준이 되는 비활성 잔유물을 측정하여 청정실 내에 잔류하는 먼지의 량을 측정할 수 있도록 비활성 잔유물의 측정장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명의 비활성 잔유물의 측정장치는 청정도가 100이하로 유지되는 클린벤치와, 청정용 헝겊을 초순수(De ionized Water)를 가열한 세척조에 넣고 초음파 세척하는 초음파 세척기와, 클린벤치 내에서 청정용 헝겊을 증류건조시키는 시험용 헝겊 준비장치와, 청정실 내에 방치되어 비활성 잔유물을 채집하는 스테인레스 스틸판과, 시험용 헝겊 준비장치에서 준비된 시험용 헝겊으로 스테인레스 스틸판을 닦아 비활성 잔유물의 량을 측정하는 초정밀저울을 구비시킴으로써 이루어진다.
Int. CL G01N 15/00 (2006.01)
CPC G01N 15/02(2013.01) G01N 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1019990015139 (1999.04.28)
출원인 한국항공우주연구원
등록번호/일자 10-0299749-0000 (2001.06.12)
공개번호/일자 10-2000-0067380 (2000.11.15) 문서열기
공고번호/일자 (20010913) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.04.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국항공우주연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤용식 대한민국 대전광역시서구
2 최종연 대한민국 대전광역시유성구
3 이주진 대한민국 대전광역시유성구
4 박순영 대한민국 서울특별시강북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동모 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로***번길 ** 드림타운 ***호(둔산동)(이동모특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국항공우주연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.04.28 수리 (Accepted) 1-1-1999-0039937-12
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 1999.04.29 수리 (Accepted) 1-1-1999-5168536-37
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 1999.06.15 수리 (Accepted) 1-1-1999-5218897-11
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.02.06 수리 (Accepted) 4-1-2001-0012005-28
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.02.14 수리 (Accepted) 4-1-2001-0015296-12
6 등록사정서
Decision to grant		 2001.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0106631-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.05.25 수리 (Accepted) 4-1-2006-5072452-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2007-5192030-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

청정도가 100 이하로 요구되고 초순수 공급배관이 설치된 클린벤치와,

청정용 헝겊을 초순수로 가열한 세척조에 넣고 초음파 세척시키는 초음파 세척기와,

클린벤치 내에서 청정용 헝겊을 증류 건조시켜 시험용 헝겊을 만들어 보관하는 시험용 헝겊 보관장치와,

청정실 내에 일정기간 방치되어 청정실의 비활성 잔유물을 채집하는 스테인레스 스틸판과,

시험용 헝겊으로 상기 스테인레스 시틸판을 닦은 후 시험용 헝겊에 묻은 비활성 잔유물을 추출하여 측정하는 초정밀저울을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 비활성 잔유물의 측정장치

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청정용 헝겊을 초음파 세척기에서 가열된 초순수에 담가 초음파 세척하는 과정과,

초음파 세척된 청정용 헝겊을 시험용 헝겊 준비장치에서 증류액을 바꾸어 가며 수회에 걸쳐 증류시키는 과정과,

증류된 시험용 헝겊을 건조시켜 클린벤치 내에 보관하는 과정과,

보관된 시험용 헝겊을 IPA에 담갔다가 청정실에 방치된 스테인레스 스틸판을 닦아주는 과정과,

시험용 헝겊에 묻은 비활성 잔유물을 헹구어낸 후 비이커에 담아 증발시키는 과정과,

비이커의 중량을 초정밀저울로 측정하여 비활성 잔유물을 계산하는 과정을 수행시키는 것을 특징으로 하는 비활성 잔유물의 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.