| 1 |
1
누설을 감지하고자 하는 대상체의 내부로 감지체를 공급하는 공급유닛; 및적외선을 이용하여 상기 대상체 내부로부터의 상기 감지체가 누설되는지 여부를 감지하는 감지유닛; 을 포함하며, 상기 공급유닛은 상기 감지체를 가열한 후, 상기 대상체 내부로 공급하는 누설감지장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 대상체는 내부가 진공인 진공기이며, 상기 감지체는 가열된 헬륨 가스를 포함하는 누설감지장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 감지유닛은 상기 대상체의 외부에서 상기 대상체를 촬영하는 적외선 카메라를 포함하는 누설감지장치
|
| 5 |
5
누설을 감지하고자 하는 대상체의 내부로 감지체를 공급하는 단계; 및상기 대상체 외부에서 적외선을 이용하여, 상기 대상체 내부로부터 상기 감지체가 누설되는 여부를 감지하는 단계; 를 포함하며, 상기 공급단계는 상기 감지체를 가열한 후 상기 대상체로 공급하는 누설감지방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 감지단계는 상기 가열된 감지체가 상기 대상체로부터 누설됨을 온도 차이로 감지하는 적외선 카메라를 이용하는 누설감지방법
|
