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박막 필름 결함검출장치

  • 기술번호 : KST2015184904
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 광원이 적분구에 입사되어 산란된 광원이 적분구로부터 출력되도록 하여 박막 필름 결함을 검출하기 위한 적분구를 이용한 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 박막 필름 검출 장치는 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대와 상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 상기 베이스판 하면에 설치되어 빛을 방출하는 빛 방출장치와 상기 빛 방출장치에서 방출된 빛이 상기 박막을 통과하여 내부로 투입되도록 상기 빛 방출장치에 대응되는 위치에 설치된 측정장치와 상기 측정장치는 본체와 좌반구와 우반구와 이들을 연결하는 원통체로 이루어진 몸체부와 상기 원통체의 일측에 형성된 광원입사부와 대응되는 반대편에 형성된 광원출력부와 상기 원통체의 상기 광원 입사부와 상기 광원 출력부 사이에 형성되어 산란된 광원이 확산 출력되는 확산광원출력부로 이루어진 상기 본체 내부에 형성된 적분구와 상기 적분구의 확산광원출력부 전방에 설치된 렌즈와 상기 렌즈 전방에 설치되어 확산 광원을 검출하는 광원검출부와 상기 광원검출부에서 검출된 확산 광원을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부로 구성되며, 상기 측정장치 양단에 설치되어 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대로 구성됨을 특징으로 한다.적분구, 박막 필름, 결함, 빛, 산란
Int. CL G02F 1/13 (2006.01)
CPC G02F 1/1309(2013.01) G02F 1/1309(2013.01) G02F 1/1309(2013.01)
출원번호/일자 1020050026453 (2005.03.30)
출원인 충청북도, 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0701598-0000 (2007.03.23)
공개번호/일자 10-2006-0104350 (2006.10.09) 문서열기
공고번호/일자 (20070329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.03.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구
2 충청북도 대한민국 충청북도 청주시 상당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김근식 대한민국 충남 보령시 대
2 박근형 대한민국 충북 청주시 상당구
3 김영철 대한민국 충북 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
2 충청북도 대한민국 충북 청주시 상당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0168310-19
2 보정요구서
Request for Amendment
2005.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0026085-26
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2005-0240971-35
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0572652-10
5 의견서
Written Opinion
2006.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0881031-90
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0881054-39
7 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2006.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0901491-37
8 등록결정서
Decision to grant
2007.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0137755-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.09.18 수리 (Accepted) 4-1-2012-5196458-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.28 수리 (Accepted) 4-1-2014-5103343-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5081402-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086612-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149268-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
받침대(11)에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드(12)가 설치된 베이스판(1)과;상면에 검사용 박막(7)이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그(21)가 좌,우 측면에 설치된 이송대(2)와;상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단(3)과;상기 베이스판 하면에 설치되어 빛을 방출하는 빛 방출장치(4)와;상기 빛 방출장치에서 방출된 빛이 상기 박막을 통과하여 내부로 투입되도록 상기 빛 방출장치에 대응되는 위치에 설치된 측정장치(5)와;상기 측정장치는 본체(51)와 좌반구(521)와 우반구(522)와 이들을 연결하는 원통체(523)로 이루어진 몸체부(52)와 상기 원통체의 일측에 형성된 광원입사부(53)와 대응되는 반대편에 형성된 광원출력부(54)와 상기 원통체의 상기 광원 입사부와 상기 광원 출력부 사이에 형성되어 산란된 광원이 확산 출력되는 확산광원출력부(55)로 이루어진 상기 본체 내부에 형성된 적분구와 상기 적분구의 확산광원출력부 전방에 설치된 렌즈(56)와 상기 렌즈 전방에 설치되어 확산 광원을 검출하는 광원검출부(57)와 상기 광원검출부에서 검출된 확산 광원을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부(58)로 구성되며;상기 측정장치 양단에 설치되어 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대(6)로 구성됨을 특징으로 하는 박막 필름 결함 검출 장치
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제 1 항에 있어서,상기 빛 방출장치는 선형 빛을 방출하는 레이져 라인빔(8)인 것을 특징으로 하는 박막 필름 결함 검출 장치
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4 4
삭제
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제 1 항 에 있어서,상기 광원입사부와 상기 광원출력부는 상기 원통체에 길이 방향으로 대응되는 위치에 선형으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막 필름 결함 검출 장치
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제 5 항 에 있어서,상기 확산광원출력부는 둘 이상인 것을 특징으로 하는 박막 필름 결함 검출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.