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내부회로에 그라운드 전압을 공급하도록 실리콘 기판(30) 상에 형성되는 다수의 그라운드 패드(39)와,상기 그라운드 패드(39)에 연결되는 다수의 그라운드 라인(40)과,내부 회로에 입력 신호를 공급하도록 실리콘 기판(30) 상에 형성되는 다수의 신호 패드(38)와,상기 신호 패드(38)와 내부회로 사이에 연결된 다수의 신호 라인(36)과,상기 다수의 신호 라인(36)들 사이에 단차 개선을 위해 설계되는 더미 패턴(41)을 포함하는 고주파 집적 회로 장치에 있어서,상기 신호 라인(36)간의 커플링 및 신호누설을 방지하기 위하여 각각의 신호 라인(36) 주위를 쉴딩하며 상기 그라운드 패드(39)에 접속되는 가이드 라인(37)을 더 포함하되, 상기 다수의 신호 라인(36)들 사이의 더미 패턴 없이 상기 가이드 라인(37)이 더미 패턴 역할을 하도록 함을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘 기판(30)에는 P+ 확산 영역(32)이 더 형성되며,상기 가이드 라인(37)은 그 일측이 제 2 콘택(35)을 통해 상기 P+ 확산 영역(32)과 접속됨을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치
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제 2항에 있어서,상기 실리콘 기판(30)에는 N+ 확산 영역(31)이 더 형성되며,상기 신호 라인(36)은 그 일측이 제 1 콘택(33)을 통해 상기 N+ 확산 영역(31)과 접속됨을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치
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제 3항에 있어서,상기 P+ 확산 영역(32)은 상기 N+ 확산 영역(31) 주위를 감싸도록 형성됨을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장지
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반도체 기판 내부회로에 그라운드 전압을 공급하도록 하는 다수의 그라운드 패드와 상기 그라운드 패드에 연결되는 다수의 그라운드 라인과, 내부 회로에 입력 신호를 공급하는 다수의 신호 패드 및 상기 신호 패드와 내부회로 사이에 연결된 다수의 신호라인 및 상기 다수의 신호 라인 사이의 단차 개선을 위하여 설계되는 더미 패턴을 포함하는 고주파 집적 회로 장치의 제조 방법에 있어서,상기 신호 라인간의 커플링을 방지하기 위하여 각각의 신호 라인 주위를 쉴딩하며 그 일측이 상기 그라운드 패드에 접속되는 가이드 라인을 형성하되,상기 다수의 신호 라인들 사이에 더미 패턴을 형성하지 않고 상기 가이드 라인이 더미 패턴 역할을 하도록 하는 것을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 반도체 기판에 P+ 확산 영역을 더 형성하고,상기 가이드 라인은 그 일측이 콘택을 통해 상기 P+ 확산 영역에 접속되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치의 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 반도체 기판에 N+ 확산 영역을 더 형성하고,상기 신호 라인은 그 일측이 콘택을 통해 상기 N+ 확산 영역에 접속되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 고주파 집적 회로 장치의 제조 방법
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