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펌핑 인에이블 신호에 의해 인에이블되어 펌핑 제어신호에 따라 클럭신호를 발생하는 클럭 발생회로와,상기 클럭신호를 이용하여 전원전압을 고전압으로 펌핑하여 쓰기/소거 고전압을 발생하는 펌핑회로와,상기 펌핑회로로부터 출력되는 상기 쓰기/소거 고전압을 이용하여 고전압의 쓰기/소거 방지 고전압을 발생함과 아울러 상기 쓰기/소거 고전압을 안정화시키기 위한 상기 펌핑 제어신호를 발생하는 고전압 안정회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 클럭 발생회로는 상기 펌핑 제어신호에 따라 상기 클럭신호를 상기 펌핑회로에 공급하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 펌핑회로는,전원전압원과 출력단자 사이에 직렬 접속된 N개의 쇼트키 다이오드(Schottky Barried Diode)와;상기 전원전압원과 제 1 쇼트키 다이오드 사이의 제 1 노드와, 제 2 내지 제 n 쇼트키 다이오드 각각의 사이인 각 펌핑노드에 접속된 N개의 펌핑 커패시터와,상기 출력단자와 기저 전압원 사이에 접속된 부하 커패시터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 3 항에 있어서,상기 N개의 펌핑 커패시터 중 홀수번째 펌핑 커패시터는 홀수번째 펌핑노드에 접속되는 제 1 단자와 상기 기저 전압원에 접속되는 제 2 단자를 포함하고,상기 N개의 펌핑 커패시터 중 짝수번째 펌핑 커패시터는 짝수번째 펌핑노드에 접속되는 제 1 단자와 상기 클럭신호가 공급되는 클럭신호 입력라인에 접속되는 제 2 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 1 항에 있어서,상기 고전압 안정회로는,쓰기/소거 고전압 라인으로부터의 상기 쓰기/소거 고전압을 이용하여 프로그램 신호를 바이어스 타겟신호로 승압하는 제 1 레벨 쉬프터와;쓰기/소거 신호를 이용하여 펌핑 인에이블 신호 및 반전된 펌핑 인에이블 신호를 발생하는 펌핑 인에이블 신호 발생부와;상기 쓰기/소거 고전압 라인으로부터의 상기 쓰기/소거 고전압을 감소시켜 상기 쓰기/소거 방지 고전압을 발생하여 쓰기/소거 방지 고전압 라인으로 공급하는 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로와;상기 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로와 기저 전압원 사이에 접속되어 상기 바이어스 타겟신호 및 상기 펌핑 인에이블 신호에 따라 상기 쓰기/소거 방지 고전압에 대응되는 검출전압을 발생하는 검출회로와;상기 쓰기/소거 신호에 따라 기준전압과 상기 검출전압을 비교하여 상기 펌핑 제어신호를 발생하는 비교기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 5 항에 있어서,상기 펌핑 인에이블 신호 발생부는,상기 쓰기/소거 신호를 펌프 신호로 승압하는 제 2 레벨 쉬프터와,상기 제 2 레벨 쉬프터로부터의 상기 펌프 신호를 버퍼링하여 상기 펌핑 인에이블 신호 및 상기 반전된 펌핑 인에이블 신호를 발생하는 버퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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7
제 6 항에 있어서,상기 버퍼부는 상기 제 2 레벨 쉬프터의 출력단자에 직렬 접속된 제 1 내지 제 5 인버터를 포함하며,상기 제 4 인버터의 출력신호를 상기 펌핑 인에이블 신호로 출력하고,상기 제 5 인버터의 출력신호를 상기 반전된 펌핑 인에이블 신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 5 항에 있어서,상기 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로는 상기 쓰기/소거 고전압 라인과 상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인 사이에 다이오드 형태로 직렬 접속된 제 1 내지 제 4 고전압 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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제 8 항에 있어서,상기 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로는 4개의 고전압 트랜지스터의 문턱전압만큼 상기 쓰기/소거 고전압을 감소시켜 상기 쓰기/소거 방지 고전압을 발생하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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10
제 5 항에 있어서,상기 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로는 상기 쓰기/소거 고전압 라인과 상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인 사이에 직렬 접속된 복수의 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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11
제 10 항에 있어서,상기 쓰기/소거 방지 고전압 발생회로는 4개의 다이오드의 문턱전압만큼 상기 쓰기/소거 고전압을 감소시켜 상기 쓰기/소거 방지 고전압을 발생하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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12
제 5 항에 있어서,상기 검출회로는,상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인에 직렬 접속된 N개의 분압저항을 포함하는 저항 어레이와,상기 바이어스 타겟신호에 따라 상기 제 1 저항을 상기 제 2 및 제 3 저항 중 어느 하나로 접속시키는 제 5 고전압 트랜지스터와,상기 펌핑 인에이블 신호에 따라 제 n 저항을 상기 기저 전압원에 접속시키는 제 6 고전압 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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13
제 12 항에 있어서,상기 검출회로는 상기 복수의 분압저항 중 임의의 분압저항들 사이인 검출노드에서 상기 검출전압을 발생하여 상기 비교기에 공급하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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14
제 13 항에 있어서,상기 검출노드는 상기 쓰기/소거 방지 고전압의 1/10 전압이 발생되는 분압저항 사이의 분압노드인 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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15
제 5 항에 있어서,상기 비교기는,상기 검출전압이 상기 기준전압보다 클 경우에는 전압 펌핑을 중단하기 위한 하이 레벨의 펌핑 제어신호를 생성하여 상기 클럭 발생회로에 공급하고,상기 검출전압이 상기 기준전압보다 작을 경우에는 전압 펌핑을 지속하기 위한 로우 레벨의 펌핑 제어신호를 생성하여 상기 클럭 발생회로에 공급하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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16
제 5 항에 있어서,상기 고전압 안정회로는,상기 펌핑 인에이블 신호 및 반전된 펌핑 인에이블 신호를 이용하여 상기 쓰기/소거 고전압 라인 상의 전압을 일정한 전압레벨로 유지시키는 제 1 전압 유지회로와;상기 펌핑 인에이블 신호 및 반전된 펌핑 인에이블 신호를 이용하여 상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인 상의 전압을 일정한 전압레벨로 유지시키는 제 2 전압 유지회로와;상기 쓰기/소거 고전압 라인 상의 전압을 일정한 전압레벨로 방전시키는 제 1 전압 방전회로와;상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인 상의 전압을 일정한 전압레벨로 방전시키는 제 2 전압 방전회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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17
제 16 항에 있어서,상기 제 1 전압 유지회로는,상기 펌핑 인에이블 신호 또는 반전된 펌핑 인에이블 신호를 상기 쓰기/소거 고전압으로 승압하여 제 1 스위칭 신호를 생성하는 제 3 레벨 쉬프터와,상기 반전된 펌핑 인에이블 신호에 따라 구동전압을 출력하는 제 1 스위칭 소자와,상기 제 1 스위칭 신호에 따라 상기 제 1 스위칭 소자로부터의 구동전압을 상기 쓰기/소거 고전압 라인에 공급하는 제 2 스위칭 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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18
제 16 항에 있어서,상기 제 2 전압 유지회로는,상기 펌핑 인에이블 신호 또는 반전된 펌핑 인에이블 신호를 상기 쓰기/소거 방지 고전압으로 승압하여 제 2 스위칭 신호를 생성하는 제 3 레벨 쉬프터와,상기 반전된 펌핑 인에이블 신호에 따라 구동전압을 출력하는 제 3 스위칭 소자와,상기 제 2 스위칭 신호에 따라 상기 제 3 스위칭 소자로부터의 구동전압을 상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인에 공급하는 제 4 스위칭 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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19
제 16 항에 있어서,상기 제 1 전압 방전회로는상기 쓰기/소거 고전압 라인에 다이오드 형태로 직렬 접속된 제 1 내지 제 3 트랜지스터와,상기 반전된 펌핑 인에이블 신호에 따라 상기 제 3 트랜지스터를 상기 기저 전압원에 접속시키는 제 4 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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20
제 16 항에 있어서,상기 제 2 전압 방전회로는상기 쓰기/소거 방지 고전압 라인에 다이오드 형태로 직렬 접속된 제 5 내지 제 7 트랜지스터와,상기 반전된 펌핑 인에이블 신호에 따라 상기 제 7 트랜지스터를 상기 기저 전압원에 접속시키는 제 8 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 발생장치
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