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구리의 화학 증착에 유용한 액상 전구체

  • 기술번호 : KST2015186477
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자의 회로용 구리 도선을 화학증착에 의해 형성할 때 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1의 유기 구리(I) 착화합물에 관한 것으로, 본 발명에 따르는 유기 구리 전구체는 상온에서 액체로 존재하며 안정성과 증기압이 높아 구리의 화학증착에 특히 적합하면서도 우수한 증착 특성을 나타낸다.상기 식에서, R1은 C1-4 알킬기이고, R2는 수소 또는 C1-4 알킬기이며,R3 및 R4는 각각 C1-4 알킬 또는 플루오로-치환된 C1-4 알킬이다.
Int. CL C23C 16/18 (2006.01)
CPC C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1019980043331 (1998.10.16)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0536484-0000 (2005.12.07)
공개번호/일자 10-2000-0025984 (2000.05.06) 문서열기
공고번호/일자 (20060228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 한상호 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 강상우 대한민국 서울특별시 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.10.16 수리 (Accepted) 1-1-1998-0382192-15
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.10.16 수리 (Accepted) 1-1-1998-0350827-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005580-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0122834-81
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
6 출원심사청구서
Request for Examination		 2003.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2003-5191989-87
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.02.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0011530-63
9 등록결정서
Decision to grant		 2005.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0454059-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1의 구조를 갖는 유기 구리(I) 착화합물:화학식 1상기 식에서, R1은 C1-4 알킬기이고, R2는 수소 또는 C1-4 알킬기이며,R3 및 R4는 각각 C1-4 알킬 또는 플루오로-치환된 C1-4 알킬이다
2 2
제 1 항에 있어서,하기 화학식 2의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 착화합물
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상온 내지 60 ℃ 범위의 온도에서 제1항에 따른 유기 구리 착화합물을 기화시켜 화학증착법에 의해 기판 상에 구리 박막을 증착시키는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.