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알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도 저하 방법

  • 기술번호 : KST2015186480
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride, DMAH)의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 3차 아민을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다.
Int. CL C09K 3/00 (2006.01)
CPC C09K 3/00(2013.01) C09K 3/00(2013.01) C09K 3/00(2013.01)
출원번호/일자 1019970053949 (1997.10.21)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0233961-0000 (1999.09.15)
공개번호/일자 10-1999-0032799 (1999.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (19991215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.10.21)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 윤종호 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 박준원 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 이정현 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.10.21 수리 (Accepted) 1-1-1997-0170950-11
2 특허출원서
Patent Application		 1997.10.21 수리 (Accepted) 1-1-1997-0170948-29
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.10.21 수리 (Accepted) 1-1-1997-0170949-75
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.10.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1997-0170951-67
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005580-12
6 등록사정서
Decision to grant		 1999.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0209276-75
7 FD제출서
FD Submission		 1999.09.03 수리 (Accepted) 2-1-1999-5149641-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0122834-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 3차 아민을 0

2 2

제 1 항에 있어서,

3차 아민이 하기 화학식 3, 4 또는 5의 화합물인 방법

3 3

제 1 항에 있어서,

3차 아민이 N-에틸-N-메틸아닐린인 방법

4 4

액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 3차 아민을 0

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1 JP11158186 JP 일본 FAMILY
2 KR100291147 KR 대한민국 FAMILY
3 KR100298128 KR 대한민국 FAMILY

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1 JP11158186 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH11158186 JP 일본 DOCDBFAMILY
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