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구리박막의식각방법

  • 기술번호 : KST2015186495
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 등의 금속배선시에 사용되는 구리 박막의 식각 방법에 관한 것으로, 구리 박막을 오존, 또는 산소 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시킨 다음, 산화된 구리에 β-디케톤(diketone) 계열의 식각 반응 기체를 도입하여 반응시키거나, 구리 박막을 산화시킴과 동시에 식각 반응 기체와 반응시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 구리 박막의 식각 방법은 소량의 산화제 및 식각 반응 기체를 사용하면서 종래기술보다 낮은 온도에서도 식각이 가능한 방법으로서 반응 조건에 따라 식각 속도를 효율적으로 조절할 수 있다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/32135(2013.01) H01L 21/32135(2013.01)
출원번호/일자 1019980029877 (1998.07.24)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0347130-0000 (2002.07.20)
공개번호/일자 10-2000-0009446 (2000.02.15) 문서열기
공고번호/일자 (20020918) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.07.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 강상우 대한민국 서울특별시 용산구
3 김효욱 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1998.07.24 수리 (Accepted) 1-1-1998-0091828-18
2 특허출원서
Patent Application
1998.07.24 수리 (Accepted) 1-1-1998-0091827-62
3 출원심사청구서
Request for Examination
1998.07.24 수리 (Accepted) 1-1-1998-0091829-53
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005580-12
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.07.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5277825-51
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.09.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0122834-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2000.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0156853-15
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2000.08.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5263996-15
10 의견서
Written Opinion
2000.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-5263993-78
11 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
2001.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0024993-26
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2001.04.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2001-0006419-78
13 심사전치출원의 심사결과보고서
Notice of Result of Reexamination
2001.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0128765-39
14 등록결정서
Decision to grant
2002.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0134273-19
15 FD제출서
FD Submission
2002.07.22 수리 (Accepted) 2-1-2002-5141488-53
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

구리 박막을 산화시키고 β-디케톤(diketone) 계열의 식각 반응 기체를 사용하여 식각시키는 방법에 있어서, 구리박막을 산소 플라즈마 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시키는 것을 특징으로 하는 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

구리 박막을 산소 플라즈마 또는 오존 플라즈마를 이용하여 산화시킴과 동시에 β-디케톤 계열의 식각 반응 기체와 반응시키는 것을 특징으로 하는 방법

3 3

제 1 항에 있어서,

다이렉트(direct) 플라즈마 반응기를 사용하는 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.