1 |
1
시료의 비열을 측정하는 장치에 있어서, 교류 전류를 제공하는 교류 발생부; 교류 전류를 측정하는 전류계; 시료가 내장된 항온조; 상기 교류 전류계와 전압계 사이에 구성되며, 상기 시료와 항온조에 절곡점이 접촉되어 상기 항온조와 시료간의 열교환을 행하는 제 1 열전쌍 도선; 상기 시료의 일단에 절곡점이 형성되어 상기 시료의 온도 진동에 대응하는 전압을 발생시키는 제 2 열전쌍 도선; 상기 제 2 열전쌍 도선의 전압을 상기 온도에 대응하는 전압으로 변환시키는 전압 변환부; 상기 전압 변환부의 전압을 측정하는 전압계를 구비하는 것을 특징으로 하는 펠티어 비열 측정 장치
|
3 |
3
시료의 비열을 측정하는 장치에 있어서, 중앙에 개구부가 형성된 실리콘 기판; 상기 개구부를 통과하도록 상기 실리콘 기판위에 증착된 실리콘 박막 상부에 형성되는 제 1 전도체 박막; 상기 개구부를 통과하되, 상기 제 1 전도체 박막과 두 개의 접합점이 형성되도록 위치하며, 상기 제 1 전도체 박막과 상이한 전기 전도율을 가져 상기 제 1 전도체 박막과 함께 열전쌍 도선을 형성하는 제 2 및 제 3 반도체 박막을 구비하며, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 전도체 끝단에는 금속 패드가 상기 실리콘 기판에 증착되고, 상기 제 2 또는 제 3 전도체 끝단의 금속 패드를 통하여 교류 전류를 제공하여 두 개의 접합점에 열진동을 발생시키며, 상기 교류 전류가 제공되지 않은 제 1, 2, 3 전도체 끝단의 금속 패드를 통하여 상기 접합점의 온도 진동을 검출할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠티어 비열 측정 장치
|
4 |
4
시료의 비열을 측정하는 장치에 있어서, 제 1 기판 및 시료가 상부에 위치한 제 2 기판이 내장되는 항온조; 상기 항온조, 상기 제 2 기판, 항온조 그리고 제 1 기판의 순으로 절곡점이 형성되며, 상기 절곡점은 상기 항온조, 제 1 및 제 2 기판에 각각 접촉되고, 끝단을 통하여 직류 전류가 제공되어 상기 절곡점을 통하여 상기 제 1, 제 2 기판 및 항온조를 가열/냉각하는 제 1 열전쌍 도선; 상기 제 1 및 제 2 기판에 각각 접촉되는 절곡점이 형성되어 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 온도 차를 검출하는 제 2 열전쌍 도선; 상기 제 1 및 제 2 기판에 각각 접촉되는 절곡점이 형성되며, 직류 전류가 제공되어 상기 제 1 및 제 2 기판을 가열/냉각함으로써 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 온도 차를 보상하는 제 3 열전쌍 도선을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠티어 비열 측정 장치
|