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멤스(ＭＥＭＳ)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015186563
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법에 관한 것으로, 유리기판 위에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하고, 리가(LIGA) 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA(polymethylmethacrylate)) 감광재로 둥근 채널로 형성한다. 이후, 크롬웰(Chromel) 전극이 수직 이륙된 유리기판과, 둥근 채널로 형성된 PMMA를 조립한 후, 둥근 채널 속에 수은방울을 넣고, 크롬웰 전극 유리기판을 접합한다. 이후, 수은이 중력의 영향으로 PMMA 채널을 따라 바닥으로 내려가면서, 변화되는 크롬웰 전극의 저항치의 변화량을 이용해 경사진 곳의 기울기를 측정한다. 따라서, 각도 센서에 의하면, 큰 각에서부터 작은 각까지 광범위한 측정범위가 되고, 센서의 크기가 작으므로 그 적용이 용이하다는 효과가 있다.
Int. CL B81B 7/02 (2006.01)
CPC B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01)
출원번호/일자 1020000025878 (2000.05.15)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0408819-0000 (2003.11.26)
공개번호/일자 10-2001-0104588 (2001.11.26) 문서열기
공고번호/일자 (20031211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 경상북도포항시남구
2 오종현 대한민국 부산광역시서구
3 오동영 대한민국 경상북도경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2000-0097034-85
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2000.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2000-5138758-56
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2001.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2001-5285214-80
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.02.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.03.27 수리 (Accepted) 9-1-2002-0041442-87
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0430417-52
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0033224-89
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.02.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0071194-87
9 의견서
Written Opinion		 2003.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0071195-22
10 등록결정서
Decision to grant		 2003.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0331086-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

경사각을 측정하는 제조 방법에 있어서,

유리기판 상에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하는 단계;

LIAG 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA)를 둥근 채널로 형성하도록 공정하는 단계;

상기 크롬웰 전극에 의해 수직 이륙된 유리기판과 상기 둥근 채널로 형성된 피엠엠에이(PMMA)를 조립한 후, 상기 둥근 채널 속에 수은을 넣고, 상기 크롬웰 전극 유리기판을 접합하는 단계;

상기 수은이 중력의 영향으로 중심에서 바닥으로 채널을 따라 내려가면서 경사진 곳의 기울기를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 LIGA 공정을 이용해 피엠엠에이(PMMA)로 둥근 채널을 형성하는 것은, 상기 둥근 채널의 반지름을 변화시키거나, 상기 채널의 형상을 타원 형태로 바꿔 센서의 감도를 증대시키는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 경사진 곳의 기울기 측정 원리는,

상기 전극(electrode) 1을 통해 흘러가는 전류를 수은을 거쳐 전극(electrode) 2점으로 보내면, 수은의 위치에 따라 저항이 변하고, 변하는 저항을 이용하여 기울기를 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.