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유기금속착물, 이의 제조방법 및 이를 이용한유기금속화학증착법

  • 기술번호 : KST2015186567
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1의 유기금속 착물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기금속화학증착법에 관한 것으로, 본 발명의 유기금속 착물은 열안정성이 높고, 낮은 온도에서도 기화 특성이 우수하기 때문에 유기금속화학증착법 (MOCVD, metal organic chemical vapor deposition)을 이용하여 효율적으로 박막을 제조할 수 있다.(상기식에서, M, m, R1, R2, R3, 및 R4는 명세서 중에서 정의한 바와 같다.)
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C07F 7/003(2013.01) C07F 7/003(2013.01) C07F 7/003(2013.01) C07F 7/003(2013.01)
출원번호/일자 1020000023027 (2000.04.29)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0338196-0000 (2002.05.14)
공개번호/일자 10-2000-0071869 (2000.11.25) 문서열기
공고번호/일자 (20020527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1019990015557   |   1999.04.30
대한민국  |   1020000003371   |   2000.01.25
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.04.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도포항시남구
2 이정현 대한민국 경상북도포항시남구
3 심재용 대한민국 경상북도포항시남구
4 김대환 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-0086160-72
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2000.05.01 수리 (Accepted) 1-1-2000-5125318-87
3 등록결정서
Decision to grant		 2002.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0047362-55
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 착물:

화학식 1

2

제 1 항에 있어서,

상기 유기금속 착물이 티타늄 테트라(디메틸아미노프로폭사이드), 티타늄 테트라(디메틸아미노에톡사이드) 및 지르코늄 테트라(디메틸아미노에톡사이드)로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 유기금속착물

3 3

하기 화학식 2 또는 3의 금속 화합물을 하기 화학식 4의 아민 화합물과 1:4 내지 1:5의 몰수로 유기 용매 중에서 혼합한 후, 상기 혼합물을 환류시켜 제 1 항의 화학식 1의 유기금속착물을 제조하는 방법:

화학식 2

M(NR2)4

화학식 3

M(OR')4

화학식 4

4

제 3 항에 있어서,

상기 금속 화합물이 티타늄 테트라(디에틸아민), 지르코늄 테트라(디에틸아민), 티타늄 테트라알콕사이드 및 지르코늄 테트라알콕사이드로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 방법

5 5

제 3 항에 있어서,

상기 아민 화합물이 디메틸프로판올아민 또는 디메틸에탄올아민인 것을 특징으로 하는 방법

6 6

제 1 항의 화학식 1의 유기 금속 착물을, 선택적으로는 하나 이상의 다른 유기금속 전구체와 함께, 20 내지 300℃에서 증기화시키고, 생성된 증기를 300 내지 600℃로 가열된 기판에 접촉시켜 상기 기판 상에 금속 산화물 박막을 증착시키는 것을 포함하는 금속 산화물 박막의 증착 방법

7 7

제 6 항에 있어서,

상기 금속 산화물이 지르코늄 산화물 또는 티타늄의 산화물인 것을 특징으로 하는 방법

8 8

제 6 항에 있어서,

상기 금속 산화물이 바륨 스트론튬 티타네이트, 납 지르코네이트 티타네이트, 스트론튬 비스머스 티타네이트, 비스머스 란타늄 티타네이트 또는 이트륨 안정화된 지르코니아인 것을 특징으로 하는 방법

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