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입력된 방사광원을 개폐하기 위한 광차폐막, 상기 광차폐막을 통과해 들어온 방사광선의 초점을 맞추기 위한 슬릿, 상기 슬릿을 지난 방사광 신호의 세기를 조절할 수 있는 감쇄기, 상기 감쇄기를 지난 방사광 신호에 대해 상기 방사광이 활성될 수 있는 기체로 채워져 있어 상기 방사광이 통과할 때 이온화 되어, 통과한 방사광선의 세기가 전기적으로 측정될 수 있게 하는 제1이온화실, 상기 제1이온화실을 통과한 방사선이 반응할 시료가 놓여지는 시료대, 상기 방사선이 상기 시료와 반응하여 산란된 신호를 활성화 시키는 기체로 채워져 있어 상기 산란 신호가 통과할 때 이온화 되어, 통과한 산란 신호의 세기가 전기적으로 측정될 수 있게 하는 제2이온화실, 및 상기 제2이온화실을 통과한 산란된 빔이 통과하는 빔 가이드를 포함하는 빔 라인; 상기 광차폐막의 개폐를 제어하기 위한 스테핑 모터 구동부, 상기 제1, 제2이온화실에 전기장을 형성하기 위한 고전압 전력을 공급하는 고압전력공급기, 상기 제1, 제2이온화실에서 생성된 전류를 입력받아 증폭시키는 전류증폭기, 상기 전류증폭기로부터의 출력값을 디지털 변환하여 상기 주제어부로 입력시키는 아날로그/디지털 변환기, 및 상기 주제어부의 명령에 따라 상기 시료대의 온도를 조절하는 온도조절부를 포함하는 빔 라인 통제부; 상기 산란빔 가이드를 통과한 산란광을 검출하는 CCD 검지기, 상기 CCD 검지기를 냉각시키는 냉각장치, 및 상기 CCD 검지기와 상기 냉각장치를 제어하는 CCD 검지기 제어기를 포함하는 신호 검출부; 및 상기 빔 라인 통제부와 통신하고, 상기 신호 검출부로부터 수신한 신호를 저장 및 디스플레이하는 주제어부를 포함함을 특징으로 하는 방사광 소각산란 측정장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 항에 있어서, 상기 주제어부는, 상기 스테핑 모터 구동부를 제어하고, 상기 아날로그/디지털 변환기로부터 데이터를 획득하여 방사광의 세기를 산출, 저장 및 표시하고, 상기 온도조절부에 온도조절 명령을 내리고, 상기 신호검출부의 냉각온도를 제어하고 신호검출부로부터 수신한 데이터를 저장 및 디스플레이하는 컴퓨터임을 특징으로 하는 방사광 소각산란 측정장치
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