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철, 니켈 또는 코발트의 전이 금속으로 이루어지거나, 상기 전이 금속의 금속 황화물, 금속 탄화물, 금속 산화물, 금속염, 또는 상기 전이 금속을 함유한 유기 화합물로 이루어지는 촉매를 반응기 내에 도입하는 단계; 상기 촉매 상에 아세틸렌, 메탄, 프로판 및 벤젠 등으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 포함하는 반응 가스를 제공하는 단계 ; 상기 반응기 내의 촉매를 마이크로웨이브 방사로 선택적으로 가열하는 국부적 가열 단계; 및 상기 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매는 함침 방법, 초기습윤 방법 또는 이온교환 방법으로 담체에 담지되어 분말 상태로 상기 반응기 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매는 증착, 페이팅 또는 분사 방법에 의해서 기판 상에 담지되어 상기 반응기 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 전이 금속으로 이루어지는 촉매는 금속 전구체로서 기판 또는 담체에 담지된 후 환원, 소성, 황화 또는 탄화 반응에 의해서 금속상으로 변화된 후 상기 반응기 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 황화물로 이루어지는 촉매는 상기 전이 금속을 황화 수소로 황화시킨 금속 황화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 유기 화합물로 이루어지는 촉매는 기상의 촉매 전구체로서 상기 반응기 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제7항에 있어서, 상기 촉매 전구체는 페로신 또는 철-펜타카보닐인 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 반응 가스는 상기 수소 가스 또는 불활성 가스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 반응 가스는 황화수소(H2S) 가스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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철, 니켈 또는 코발트의 전이 금속으로 이루어지거나, 상기 전이 금속의 금속 황화물, 금속 탄화물, 금속 산화물, 금속염, 또는 상기 전이 금속을 함유한 유기 화합물로 이루어지는 촉매를 반응기 내에 도입하는 단계; 상기 촉매 상에 아세틸렌, 메탄, 프로판 및 벤젠 등으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 포함하는 반응 가스를 제공하는 단계 ; 상기 반응기 내의 촉매를 선택적으로 전자기 유도 가열하는 국부적 가열 단계; 및 상기 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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철, 니켈 또는 코발트의 전이 금속으로 이루어지거나, 상기 전이 금속의 금속 황화물, 금속 탄화물, 금속 산화물, 금속염, 또는 상기 전이 금속을 함유한 유기 화합물로 이루어지는 촉매를 반응기 내에 도입하는 단계; 상기 촉매 상에 아세틸렌, 메탄, 프로판 및 벤젠 등으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 포함하는 반응 가스를 제공하는 단계 ; 상기 반응기 내의 촉매를 선택적으로 레이저 가열하는 국부적 가열 단계; 및 상기 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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철, 니켈 또는 코발트의 전이 금속으로 이루어지거나, 상기 전이 금속의 금속 황화물, 금속 탄화물, 금속 산화물, 금속염, 또는 상기 전이 금속을 함유한 유기 화합물로 이루어지는 촉매를 반응기 내에 도입하는 단계; 상기 촉매 상에 아세틸렌, 메탄, 프로판 및 벤젠 등으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 포함하는 반응 가스를 제공하는 단계 ; 상기 반응기 내의 촉매를 선택적으로 RF 가열(Radio Frequency heating)하는 국부적 가열 단계; 및 상기 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법
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탄소 나노튜브 성장을 위한 촉매가 도입되는 반응기; 상기 반응기에 상기 탄소 나노튜브 성장을 위한 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 공급하는 반응 가스 공급부; 및 상기 반응기에 도입된 상기 촉매를 마이크로웨이브 방사로서 선택적으로 가열하기 위해서 상기 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 발생기, 및 상기 반응기에 연결되어 상기 마이크로웨이브를 가이드하는 마이크로웨이브 가이드를 포함하는 국부 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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제15항에 있어서, 상기 반응기의 내부 또는 외부에서 상기 반응기로부터 외부로의 열전달을 차단하는 단열재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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제15항에 있어서, 상기 촉매를 상기 반응기에 기상으로 제공하는 촉매 가스상 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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제16항에 있어서, 상기 촉매의 전구체 공급부는 상기 촉매의 전구체를 이루는 화합물을 기화시키는 포화기; 상기 포화기를 담는 수조; 및 상기 수조에 연결된 순환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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탄소 나노튜브 성장을 위한 촉매가 도입되는 반응기; 상기 반응기에 상기 탄소 나노튜브 성장을 위한 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 공급하는 반응 가스 공급부; 및 상기 반응기에 도입된 상기 촉매를 전자기 유도 가열로서 선택적으로 가열하기 위해서 상기 반응기 주위에 설치되는 고주파 코일, 및 상기 고주파 코일에 고주파 전류를 인가하는 전원부를 포함하는 포함하는 국부 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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탄소 나노튜브 성장을 위한 촉매가 도입되는 반응기; 상기 반응기에 상기 탄소 나노튜브 성장을 위한 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 공급하는 반응 가스 공급부; 및 상기 반응기에 도입된 상기 촉매를 선택적으로 RF 가열(Radio Frequency heating)하기 위해서 상기 반응기 주위에 설치되는 RF 발생기를 포함하는 국부 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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탄소 나노튜브 성장을 위한 촉매가 도입되는 반응기; 상기 반응기에 상기 탄소 나노튜브 성장을 위한 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 공급하는 반응 가스 공급부; 및 상기 반응기에 도입된 상기 촉매를 선택적으로 레이저 가열하기 위해서 상기 반응기 주위에 설치되는 레이저 발생기, 및 상기 레이저 발생기에서 발생되는 레이저 빔을 상기 반응기 내로 집속하는 렌즈를 포함하는 국부 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 장치
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