요약 | 본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 산화마그네슘계 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 마그네슘-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 반응기에 주입시키면서 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 700℃의 내부온도 조건하에서 다양한 기재 위에 막을 성장시키는 것을 포함하는 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 결정형 기재뿐만 아니라 무정형 기재상에서도 결정성이 우수한 산화마그네슘계 박막을 성장시킬 수 있다. |
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Int. CL | C23C 16/18 (2006.01) |
CPC | C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020010027037 (2001.05.17) |
출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
등록번호/일자 | 10-0408820-0000 (2003.11.26) |
공개번호/일자 | 10-2002-0088127 (2002.11.27) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20031206) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2001.05.17) |
심사청구항수 | 4 |