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저에너지 전자빔을 이용하는 고정밀 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015186657
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기질상에 고정밀 패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 저에너지 전자빔을 사용하여 자기조립 단분자층에 고정밀 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.본 발명에서는 아미노 화합물의 분자층이 형성되어 있는 기질 상에 존재하는 아민기를 선택적으로 구조 변환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고정밀 패턴 형성 방법을 제공한다.본 발명에 따르면, 기질 표면에 친수성과 소수성으로 구별되는 고정밀 나노패턴을 단시간 내에 원하는 모양으로 형성할 수 있고, 반도체 재료분야 및 고집적 바이오 칩을 개발하는 데 유용하다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC H01J 37/3178(2013.01)
출원번호/일자 1020010056222 (2001.09.12)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0429910-0000 (2004.04.21)
공개번호/일자 10-2003-0023192 (2003.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20040503) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.09.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준원 대한민국 경상북도포항시남구
2 나영혜 대한민국 경상북도포항시남구
3 김봉수 대한민국 경상북도포항시남구
4 강태희 대한민국 경상북도포항시남구
5 김기정 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2001-0233754-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0028514-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0271308-88
5 의견서
Written Opinion		 2003.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2003-0345613-10
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.09.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0345614-66
7 등록결정서
Decision to grant		 2004.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0107411-60
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

5000 eV 이하의 에너지 준위를 갖는 저에너지 전자빔 및 광마스크를 사용하여, 아미노 화합물의 분자층이 형성되어 있는 기질 상에 존재하는 아민기를 선택적으로 구조 변환시키는 단계를 포함하며,

상기 아미노 화합물이 하기 화학식 1의 아미노실란 화합물 또는 하기 화학식 2의 아미노티올 화합물인 것을 특징으로 하는 고정밀 패턴 형성 방법

2 2

삭제
3 3

제1항에 있어서, 상기 기질이 실리카 또는 금인 것을 특징으로 하는 방법

4 4

삭제
5 5

삭제
6 6

제1항 또는 제3항에 따른 방법으로 얻어진 고정밀 패턴이 형성된 기질 상에 디블럭 공중합체를 코팅 및 열처리한 후, 에칭처리하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자

7 7

제6항에 있어서, 디블럭 공중합체가 폴리(스타이렌-블럭-메틸메타크릴레이트)인 것을 특징으로 하는 소자

8 8

제1항 또는 제3항에 따른 방법으로 얻어진 고정밀 패턴이 형성된 기질 상에 존재하는 아민기에 단백질, DNA 또는 RNA를 결합시켜 얻어지는 것을 특징으로 하는 바이오칩

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.